一種微波固體傳感器及其檢測方法

【申請日】2023.03.23

【公開號】CN116068280A

【公開日】2023.05.05

【分類號】G01R27/26

【申請人】北京環境特性研究所

【發明人】張幸運; 白楊; 任群亭; 劉順; 呂鳴

【摘 要】本發明公開了一種微波固體傳感器及其檢測方法，該微波固體傳感器包括：沿厚度方向依次設置的金屬層、柔性基板層和微帶線層；所述柔性基板層用于支撐所述金屬層和所述微帶線層；所述金屬層上設置有互補螺旋形諧振環電磁結構，所述互補螺旋形諧振環電磁結構用于放置待測介質材料并形成強電場，所述互補螺旋形諧振環電磁結構由曲線形凹槽結構組成；所述微帶線層用于連接矢量網絡分析儀，并獲取待測介質材料的諧振頻率。將待測介質材料放置于微波固體傳感器之上時，互補螺旋諧振環結構的諧振頻率發生劇烈變化，因此，使本發明中的微波固體傳感器具有較高的靈敏度特性和較高的測量精度。