盡管在光刻膠的研發上早已碩果累累,但傅志偉深諳“授之以魚,不如授之以漁”。于是2012年開始,傅志偉不再局限于光刻膠材料的生產,而是開始光刻膠和光刻設備“兩手抓”。
作為半導體上游核心支柱,半導體材料肩負著中國半導體產業鏈安全自主可控的重要使命,尤其是光刻膠作為芯片制造過程中的關鍵材料發揮著不可替代的作用,已成為中國芯片自主化的關鍵,有著極為重要的戰略意義和實際價值。
近些年在政策、資本和產業的助推下,我國光刻膠業取得可喜的進步,徐州博康信息化學品有限公司(下文簡稱“博康”)作為我國最早從事光刻材料產業化開發的企業之一,在助力光刻膠國產化之路上可謂大放光芒,不僅實現了“單體—樹脂、光酸—光刻膠”的全產業鏈覆蓋,而且通過持續的自主研發投入,擁有了100多項的光刻膠專利,在保障國產光刻膠材料產業鏈安全、自主、可控方面取得實質性突破。
今年4月,博康宣布完成新一輪融資,金額超6億元,投后估值高達70億元,成為徐州新晉的半導體獨角獸企業。
傅志偉創業之初,光刻膠的研發在國內還是一片空白。而現在,博康已成功開發ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產品,且具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術能力。其中,干法ArF可應用于90nm/65nm/55nm節點,濕法ArF可應用于40nm/28nm節點。
盡管在光刻膠的研發上早已碩果累累,但傅志偉深諳“授之以魚,不如授之以漁”。于是2012年開始,傅志偉不再局限于光刻膠材料的生產,而是開始光刻膠和光刻設備“兩手抓”。在傅志偉的帶領下,短短三年時間,博康就完成了半導體納米級制版光刻設備、封裝及PCB激光直接成像設備兩個國家科技重大專項。2016年,博康集團還成功收購了國際頂尖的電子束光刻機生產商——英國NBL公司,推出了新一代LDI產品,打破西方國家的壟斷。目前,博康已實現原料到光刻膠產品的全國產化、全產業鏈布局,研發儲備100多項的光刻膠單體產品技術,其中KrF光刻膠單體份額全球領先。2021年—2022年,博康實現營業收入數億元。
這些成就的取得,充分彰顯了博康的遠見與格局。
一方面,博康早在十年前便意識到全產業鏈布局的重要性,持續著力全產業鏈布局,不僅保證了光刻膠的原材料光酸、樹脂的原材料單體的自主開發,而且光刻膠產品覆蓋品類也更加寬廣;另一方面,博康擁有500多名技術人員,一線研發團隊200多人,其中碩士、博士占比超過50%,且都具備豐富的有機合成、高分子聚合、半導體級電子級純化的專業能力,系統掌握了電子級化學品生產的核心技術。此外,博康還斥巨資建成了產品齊全、技術水平先進的光刻膠材料研發制造基地,基地配備了先進的自動化中控平臺以及標準的光刻材料生產設備及實驗檢測儀器,達產后實現了1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑的規模化生產。
“光刻膠生產更多是配方及物理混合,主要依靠樹脂跟光酸的合成,屬于有機合成,涉及如何讓分子結構排列保持一致,以及如何實現更精準的測試,而且需要持續的投入以開發先進工藝所需的高分辨率光刻膠。同時必須有工匠精神,不斷地打磨產品提高質量和品控,才能穩定批量地供應,滿足客戶的全面需求。”博康相關負責人闡釋了博康從原材料到研發再到生產的全面布局之道。
博康的知行合一,使其在市場上收獲了廣泛的認可。在應用方面,博康已經獲得近40家客戶的訂單,這些客戶廣泛分布于集成電路、分立器件、先進封裝等領域。而涵蓋原材料、生產和研發的“全武行”,也為博康奠定了深厚的根基和奮進的底蘊。
“未來徐州博康將繼續加大研發投入力度,鞏固核心自主知識產權,不斷拓寬技術護城河,為國產光刻膠的國產化貢獻力量。”傅志偉希望通過5到10年的努力,將博康打造成為中國領先、世界知名的半導體光刻材料公司。