多晶硅還原生產(chǎn)常見問題及控制對策分析

李帥東

（荊州理工職業(yè)學(xué)院，湖北 荊州 434000）

引言

光伏產(chǎn)業(yè)在現(xiàn)代社會(huì)中的發(fā)展，多晶硅材料市場需求也與日俱增，極大推進(jìn)了多晶硅行業(yè)的進(jìn)步。多晶硅行業(yè)在發(fā)展進(jìn)程中，進(jìn)一步提高多晶硅生產(chǎn)質(zhì)量與效率，始終是行業(yè)發(fā)展所關(guān)注的問題。與此同時(shí)，多晶硅行業(yè)要想擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，也不能單一的創(chuàng)新生產(chǎn)技術(shù)，還需要針對多晶硅還原生產(chǎn)中的現(xiàn)存問題展開分析，提出多晶硅還原生產(chǎn)的控制對策，改善生產(chǎn)工藝，為多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)量等提供保障。為此，本文針對多晶硅還原生產(chǎn)中的常見問題展開分析，提出還原生產(chǎn)問題的控制對策，希望以此提高多晶硅生產(chǎn)質(zhì)量。

1 多晶硅還原生產(chǎn)工藝概述

多晶硅生產(chǎn)中改良西門子法是其中一項(xiàng)西門子工藝，在1 100 ℃高純硅芯中，使用高純氫還原高純?nèi)葰涔瑁栊旧戏酵瓿啥嗑Ч璩练e在。這種改良西門子工藝，是以傳統(tǒng)西門子工藝為前提進(jìn)行創(chuàng)新，具備節(jié)能降耗、可回收利用的特征，多晶硅生產(chǎn)期間同時(shí)有H2、HCl、SiCl4一類的副產(chǎn)物和副產(chǎn)熱能產(chǎn)生。使用這種改良西門子法，多晶硅生長階段多是在還原爐內(nèi)部操作完成。還原爐包括底盤、爐筒，其中底盤上有分布電極分布，常見的若干對棒還原爐即根據(jù)電極對數(shù)得名，例如常見的有24 對棒還原爐和36 對棒還原爐[1]。

還原爐底盤在多晶硅重量承載這一方面是不可或缺的部件，也負(fù)責(zé)承擔(dān)供電和物料進(jìn)出、物料分布等，利用底盤的絕緣材料、冷卻介質(zhì)流通管路等，即可實(shí)現(xiàn)以上一系列操作功能[2]。……