一種含氟廢氣、廢水的處理工藝設(shè)計(jì)

張龍年，張靜旖，段斌,馮楠，張正國(guó)

（1.國(guó)家能源集團(tuán)榆林神華能源有限責(zé)任公司陜西榆林 719400）

（2.寧夏計(jì)量質(zhì)量檢驗(yàn)檢測(cè)研究院，寧夏銀川 750299）

（3.北方民族大學(xué)化學(xué)與化學(xué)工程學(xué)院，寧夏銀川 750021)

引言

無水氟化氫和電子級(jí)氫氟酸都是重要的化工原料，在半導(dǎo)體材料加工、微納器件生產(chǎn)、太陽能電池等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，是氟化工的重要產(chǎn)品之一[1-3]。2020年公安部發(fā)布的《危險(xiǎn)化學(xué)品目錄》明確確定了氟化氫或者氫氟酸都屬于危險(xiǎn)化學(xué)品范疇，一旦氟化氫或氫氟酸泄漏到環(huán)境中，對(duì)環(huán)境和周邊群眾將造成較大危害。目前我國(guó)氟化工企業(yè)較多，如多氟多、巨化股份、三愛富、億利能源等，主要都以螢石（CaF2）和硫酸為原料，在回轉(zhuǎn)窯中加熱生產(chǎn)生產(chǎn)無水氟化氫，用于半導(dǎo)體行業(yè)，此外以上企業(yè)還不斷擴(kuò)大產(chǎn)能，相繼開發(fā)生產(chǎn)了一些氟化工下游產(chǎn)品如含氟塑料、六氟磷酸鋰等高附加值產(chǎn)品。

在以上生產(chǎn)過程中，氟化氫尾氣及含氟廢水的治理和排放屬于重要的安全環(huán)保問題。由于氟化氫具有高毒性和腐蝕性，對(duì)人體、動(dòng)物的皮膚、呼吸道粘膜、眼角膜會(huì)造成嚴(yán)重的腐蝕和刺激，瞬間吸入泄漏的高濃度氟化氫會(huì)引發(fā)劇烈咳嗽，導(dǎo)致肺炎或支氣管炎等疾病，而且不能治愈[4]。如果水源受到污染，人體吸收氟離子后全身會(huì)中毒，對(duì)人體牙齒、骨骼、神經(jīng)造成不能逆轉(zhuǎn)的毒害。我國(guó)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）對(duì)氟化物排放做出了要求，排放后空氣含氟濃度不得高于0.02 mg/m3，我國(guó)污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)（GB8978-1996）二級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)要求不得高于20 mg/L，在一些省份的地方標(biāo)準(zhǔn)中不得高于10 mg/L[5-7]。……