轉(zhuǎn)角模塊對晶圓劃切質(zhì)量的影響因素研究

李超，潘繼先，韓華超，蔣興橋，李東旭，陳立新

（沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司，遼寧 沈陽 110094）

砂輪劃片機(jī)主要是通過高速旋轉(zhuǎn)的砂輪片強(qiáng)力磨削晶圓片加工出溝槽或切斷。砂輪劃片機(jī)通過電機(jī)的步進(jìn)運(yùn)動帶動空氣軸承主軸一起運(yùn)動，通過空氣軸承主軸的高速旋轉(zhuǎn)帶動砂輪片劃切真空吸附在轉(zhuǎn)角模塊上的晶圓片，在晶圓片上切出溝槽或者切斷，該劃切晶圓片的過程為砂輪劃片機(jī)的切片過程。砂輪劃片機(jī)的工作示意如圖1，砂輪片劃切晶圓的磨削原理圖如圖2。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，市場對劃切工藝設(shè)備的要求越來越嚴(yán)格，對其切割精度更高、崩邊更小、開槽寬度更窄等技術(shù)指標(biāo)更加迫切。因此，各家半導(dǎo)體生產(chǎn)商都在劃片機(jī)的結(jié)構(gòu)方面做了改進(jìn)。在砂輪片劃切不同材質(zhì)以及轉(zhuǎn)角模塊的參數(shù)方面的各個參數(shù)對砂輪片劃切晶圓的影響非常重要。因此，提高劃切晶圓橫斷面的刀口面質(zhì)量以及砂輪劃片機(jī)的安裝調(diào)試效率成為劃片機(jī)劃切工藝的主要研究方向。本文通過改進(jìn)砂輪劃片機(jī)轉(zhuǎn)角機(jī)構(gòu)調(diào)平轉(zhuǎn)角模塊的水平度并對晶圓磨削橫斷面的影響因素進(jìn)行研究。

1 影響劃切因素

1.1 安裝工藝因素

砂輪劃片機(jī)的結(jié)構(gòu)主要由X、Y、Z、T軸四個部分模塊所組成的。其中影響晶圓橫斷面切口面的因素主要有X軸模塊的直線度、Y軸模塊的步進(jìn)精度以及直線度、Z軸模塊的重復(fù)定位精度、主軸的俯仰水平精度、T軸模塊的轉(zhuǎn)角精度、吸盤上水平面相對于Y軸進(jìn)給方向的水平度。……