集成電路測試系統高速數字通道校準裝置架構設計?

胡 勇 黃俊杰 姚俊杰

（中國船舶集團有限公司第七○九研究所 武漢 430205）

1 引言

數字通道測試速率的不斷提升以及單塊板卡的集成度越來越高是當今大規模集成電路（SOC）測試系統發展的趨勢，現如今主流SOC測試系統數字通道的測試速率大多已達到8Gbps。國內已有多家科研院所配備了此類SOC測試系統幾十臺套，而且今后高速SOC測試系統在國內科研院所的應用會越來越多。然而，由于測試系統高速數字通道校準的特殊性以及缺少對高速數字通道校準方法及技術規范的研究，當前高速數字通道普遍缺乏可靠的量值溯源途徑，從而導致SOC測試系統無法得到完整的校準。因此，急需開展集成電路測試系統高速數字通道校準技術的研究。

本文提出了一種集成電路測試系統高速數字通道校準裝置架構設計方法，研建由高速通道切換系統、通用測量儀器、校準接口板及校準軟件組成的集成電路測試系統高速數字通道校準裝置。相較于傳統通過眼圖定性觀測高數數字通道傳輸信號質量變化的方式，該校準裝置可定量測量考核高速數字通道性能的各類參數，且具有通用、多通道測量、便攜、自動化等優點［1～10］，解決測試速率達8Gbps高速SOC測試系統的量值溯源，促進并完善國防微電子量傳體系。

2 集成電路測試系統高速數字通道校準裝置架構設計

本文的校準對象是集成電路測試系統高速數字通道，針對校準對象的特點以及所使用的校準方法，研建較為通用的高速數字通道校準裝置，在分析當前高速數字通道的性能指標的基礎上，選擇合適的儀器設備構建校準裝置，保障校準裝置所復現的量值范圍、不確定度要求等性能指標，能夠保障高速數字通道的量值溯源性。……