趙飛：潔凈領域的探路先鋒

李建國 李冬冬

打破山東省“缺芯少面”局面，彌補集成電路產業空白，中建三局第一建設安裝有限公司承建的國內首個協同式集成電路制造CIDM項目——青島芯恩項目正按部就班，火熱推進施工。

作為業內“高精尖”的代表，潔凈廠房項目對施工技術甚至施工環境都有著特殊的要求。作為項目的“孵化者”，項目經理趙飛和他的團隊在這里上演了一場有關匠心與攻堅克難的“故事”。

“既然冷，就捂熱了再施工”

2021年“小寒”這天，第一波寒潮天氣非?！皯啊钡厝肭智鄭u，項目所在的東部海岸線的最低氣溫一度低至-24℃。

在一次巡場過程中，趙飛發現由于溫度過低，潔凈室地面環氧樹脂凝固速度變慢，成品出現落差大、表面有磨砂的現象，不僅沒有提高潔凈度，反而成了顆粒物附著的溫床，這將極大影響正常施工。他決定找項目總工李靖商量一下應對策略。

兩人一”碰“，就”碰“出一個“土辦法”?！凹热凰?，那你就把他捂熱了再施工?！庇谑撬麄兲崆皢覯AU（空調機組），向潔凈室內輸送暖風，并將環氧地面劃為幾個片區，在周圍設置暖風機施工，通過這種方式，不僅保證了施工質量，還提前一天交付了該片作業面。

尖端技術的最初構想，不僅來源于被人們冠以為常識的“土辦法”，還有從生活中借鑒方法的“腦洞大開”。

“像接水一樣進行氣流模擬”

受層高、面積、設備排布等因素的影響，潔凈室回風夾道設置在潔凈室兩側，導致FFU（高效過濾器）送風時可能在潔凈室中間區域形成渦流，從而使得由潔凈室內生產設備、操作人員等產生的污染粒子滯留，影響潔凈室整體空氣質量，甚至會影響產品良品率。“工期一天天逼近，FFU的排布問題卻一直沒有解決，那段時間真是煎熬。”趙飛說。

一天早上，早起刷牙的趙飛看著杯子里的水，因水流沖擊而上下循環翻滾時，突然靈光一閃：依照水龍頭出水進杯子的方式對潔凈室內的氣流進行模擬，以此來確定最佳的排布方式。于是趙飛帶著技術團隊立即查閱資料，和FFU廠家溝通交流不同的排布實際效果，運用CFD氣流模擬專業軟件對項目潔凈室氣流進行模擬，通過多方案比較，合理調整FFU布置率和擺放位置，使潔凈室內氣流無死角，保證潔凈室空氣質量，成功達到了潔凈度要求。

2021年4月15日，12寸廠潔凈室迎來業主及專業檢測機構聯合檢測，僅用時23個小時，室內溫度及濕度就達到設備搬入要求，且在后續48小時內保持溫度波動在0.2攝氏度內，濕度波動在1%之內，達到行業頂尖水準，施工質量得到業主方領導張汝京博士親自點贊。

潔凈廠房的建造不僅要考慮到潔凈度，對于廠房的用途也需要相應的技術配套，高精度的芯片生產，要求趙飛團隊必須要以格物致知、精益求精的工作態度進行鉆研。

“搭臺子”解決減震難題

芯片生產需要用到大量精密儀器，如光刻機、電子束裝置及電子顯微鏡等，設備處理線寬只有40納米甚至更低，稍有超出標準的震動就會導致儀器在刻畫時出現偏差，使芯片報廢，甚至會導致精密儀器損壞，造成無法估量的損失。

“不解決這個技術壁壘，潔凈室做得再好也沒用?！壁w飛帶著技術團隊一頭扎進了會議室。他們發現微震產生的主要原因是廠房內部機器設備運行、管道內液體和氣體等在管道拐彎、變徑時等產生的震動傳導，要想將微震控制在技術工藝標準范圍之內，必須控制結構力場的傳遞效率。經過連續3天的反復論證研究，趙飛拿出了解決方案：與設計單位溝通，根據設備參數為設備設置減震臺座，設備與管道采用柔性連接，將風管內的空氣流速限定在9米每秒內，管道內的液體流速控制在2.5米每秒內。

正當大家以為這個方案一定能解決問題時，實踐中出現的問題給他們潑了一盆涼水，應用中發現了新的問題：多根管道同用一個支架時，各管道之間的力場存在相互影響的情況，在對某一管道進行抗微震處理時，其他管道會借機“拆臺”。

為了讓各管道間達到平衡狀態，趙飛帶著技術團隊對項目所有與震源相連的管道進行了抗微震計算，并創造性地采用了減震共架這一新型支架，為管道搭起減震的”臺子“。同時，結合計算得到的各類管道的抗微震數值，對管道進行優化排布，將項目微震環境標準控制在振動速度25微米每秒，成功達到了設計標準，保障了施工的順利實施。

兩年來，項目經理趙飛帶領著一支“硬核”團隊扎根建設一線，攻克了一項項行業前沿的工程技術難點，打造了一支特別有凝聚力和戰斗力的團隊，實現了項目一期工程的順利投產，且由于過硬的技術和履約質量，該團隊又順利承接到該項目的二期擴建工程，形成了以履約促市場的局面。未來，他們將繼續奮勇向前，創造更多的“世界一流”，不斷攻破技術壁壘，堅持成功背后的執著。