閆如忠,高 潮,王生澤,盧文科
(1.東華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院,上海 201620;2.紡織裝備教育部工程研究中心,上海 201620;3.東華大學(xué)信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,上海 201620)
非球面零件廣泛應(yīng)用在軍事、航天、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域[1],如美國(guó)加那利大型望遠(yuǎn)鏡、歐洲共同體EURO主鏡、法國(guó)兆焦耳激光系統(tǒng)。非球面零件作為各種光學(xué)設(shè)備中的核心器件,業(yè)界對(duì)其面型精度的要求越來(lái)越高,其檢測(cè)技術(shù)已成為國(guó)內(nèi)外的研究熱點(diǎn)。英國(guó)倫敦大學(xué)研制的擺臂式非球面輪廓測(cè)量?jī)x,測(cè)量口徑可達(dá)1m,面形測(cè)量精度可達(dá)20nm;美國(guó)亞利桑那大學(xué)采用激光三角傳感器實(shí)現(xiàn)了磨削階段的非球面輪廓測(cè)量[2];美國(guó)韋伯太空望遠(yuǎn)鏡主鏡在表面粗糙度達(dá)到10μm量級(jí)時(shí),采用紅外掃描來(lái)獲得表面輪廓[3]。國(guó)內(nèi)學(xué)者對(duì)此也開(kāi)展了大量的研究工作,賈立德等[4]對(duì)擺臂式非球面輪廓測(cè)量?jī)x的原理與技術(shù)進(jìn)行了探討;薛波等[5]采用工控微機(jī)作為上位機(jī),用Visual C++開(kāi)發(fā)工具設(shè)計(jì)了一套非球面測(cè)量系統(tǒng),其測(cè)量行程為100mm~120mm,測(cè)量系統(tǒng)誤差為5μm;范劍紅等[6]采用工控機(jī)作為上位機(jī),設(shè)計(jì)了光學(xué)非球面檢驗(yàn)系統(tǒng);郝群等[7]介紹了基于干涉法的非球面測(cè)量技術(shù),但干涉法需制作特殊的補(bǔ)償器,導(dǎo)致其通用性很差,且測(cè)量精度受到補(bǔ)償器的影響較大;馬志平等[8]提出了一種采用激光位移傳感器做為測(cè)頭的非球面在位檢測(cè)系統(tǒng)。
離線測(cè)量存在二次裝甲定位基準(zhǔn)不重合誤差、無(wú)法實(shí)時(shí)反應(yīng)工件加工情況等缺點(diǎn)[9],在線測(cè)量雖是動(dòng)態(tài)測(cè)量但對(duì)傳感器和環(huán)境的要求極高[10],而在位測(cè)量不但能避免二次裝甲定位基準(zhǔn)不重合誤差,還可實(shí)時(shí)觀測(cè)加工結(jié)果,將誤差反饋給設(shè)備補(bǔ)償加工,從而提高制造精度[11]。由于非球面零件的非接觸式測(cè)量方式對(duì)不同測(cè)量環(huán)境的通用性差,而接觸式測(cè)量具有測(cè)量結(jié)果可靠、對(duì)環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)[12,13]。故針對(duì)應(yīng)用廣泛的軸對(duì)稱非球面零件設(shè)計(jì)了一套接觸式在位測(cè)量系統(tǒng),通過(guò)運(yùn)動(dòng)控制卡和計(jì)算機(jī)通信對(duì)機(jī)床精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制,同時(shí)數(shù)據(jù)采集卡通過(guò)采集機(jī)床各軸上的磁柵尺傳感器信號(hào)得到測(cè)頭觸發(fā)時(shí)待測(cè)非球面零件上測(cè)點(diǎn)的空間坐標(biāo)值,將所得各測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)誤差分離后進(jìn)行曲面擬合并與設(shè)計(jì)曲面進(jìn)行對(duì)比即可得到其面型誤差。該系統(tǒng)測(cè)量過(guò)程直觀,可靠性高。采用更新的軟件開(kāi)發(fā)平臺(tái),提高了測(cè)量效率,采用模塊化的開(kāi)發(fā)思想,使得系統(tǒng)的兼容性和可移植性好,引入手搖控制器使得控制過(guò)程更加簡(jiǎn)單方便。
非球面有軸對(duì)稱非球面和非軸對(duì)稱非球面,而光學(xué)系統(tǒng)中的非球面大部分是軸對(duì)稱的。軸對(duì)稱非球面可用其子午截面的方程來(lái)表示[14]:

上式中z軸為旋轉(zhuǎn)軸,C為頂點(diǎn)曲率,其值為1/R,R是曲線頂點(diǎn)處的曲率半徑,K為二次曲線常數(shù),其值為-e2,其中e為二次曲線偏心率。Ai為非球面系數(shù),當(dāng)其為0時(shí),式(1)表示二次曲面,且二次曲面的形狀和K值有一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
軸對(duì)稱類非球面其曲面方程可由子午面(Ⅰ或Ⅱ)繞對(duì)稱軸旋轉(zhuǎn)一周得到,通常只需按一定的間隔測(cè)量其子午線上各點(diǎn)的坐標(biāo),進(jìn)行曲線擬合,再通過(guò)與理論曲線進(jìn)行對(duì)比即可得出其面型誤差。
采用最小二乘法多項(xiàng)式曲線擬合算法對(duì)其子午線上的測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合,該方法根據(jù)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)(xi,zi)尋找其最合適的擬合曲線z=g(x),以保證所有點(diǎn)到該曲線上對(duì)應(yīng)點(diǎn)坐標(biāo)的差值的平方和最小。即:

故需找到最佳的擬合曲線g(x),使式(2)的值最小。其中g(shù)(x)可被n次多項(xiàng)式唯一線性表出,設(shè)其為:

通過(guò)確定n次多項(xiàng)式g(x)的各項(xiàng)系數(shù)a0,a1,…,an-1,an,使得式(4)的值最小。

當(dāng)n=l時(shí),g(x)為一次多項(xiàng)式,最小二乘擬合為直線擬合,如式(5)所示:

當(dāng)n>1時(shí),最小二乘法曲線擬合轉(zhuǎn)化成多元函數(shù)求極值的問(wèn)題。若其極值存在則其一階偏導(dǎo)數(shù)必存在且其值為零,故有:

對(duì)(6)式進(jìn)行整理有式(7),式(8)和式(9):


上式關(guān)于g(x)各項(xiàng)系數(shù)a0,a1,…,an-1,an的線性方程組可用矩陣的形式表示為:

當(dāng)該矩陣為正定矩陣時(shí),其有且僅有唯一解,由此可求出g(x)的各項(xiàng)系數(shù),即可得到該組數(shù)據(jù)的最小二乘法多項(xiàng)式擬合曲線。
多項(xiàng)式g(x)的次數(shù)提高雖然可使測(cè)量點(diǎn)處的擬合精度提高,但可能使測(cè)量點(diǎn)處產(chǎn)生突變,出現(xiàn)龍格現(xiàn)象,且項(xiàng)數(shù)的增加會(huì)給加工和檢驗(yàn)帶來(lái)困難,故其次數(shù)一般小于六次。
在位測(cè)量系統(tǒng)的主要精度評(píng)價(jià)指標(biāo)為:測(cè)量精度(分辨率)和測(cè)量重復(fù)性精度。其精度受多種誤差的影響,按照誤差的性質(zhì)可將其分為隨機(jī)誤差,系統(tǒng)誤差和粗大誤差。其中隨機(jī)誤差是由外界條件的隨機(jī)變化產(chǎn)生的,它的出現(xiàn)沒(méi)有規(guī)律性,隨機(jī)誤差雖然不可避免,但可采用多次測(cè)量取平均值的方法將其影響降低到最小。系統(tǒng)誤差由機(jī)床系統(tǒng)誤差和測(cè)量系統(tǒng)誤差組成。機(jī)床誤差有機(jī)床幾何以及運(yùn)動(dòng)誤差。測(cè)量系統(tǒng)誤差有測(cè)頭半徑誤差、位姿誤差等。粗大誤差是指在規(guī)定的測(cè)量條件下明現(xiàn)偏離真實(shí)值的測(cè)量值,其會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果嚴(yán)重失真,因此需要采取措施將其剔除。因機(jī)床工作平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,其各項(xiàng)性能都很優(yōu)異,故重點(diǎn)對(duì)測(cè)量系統(tǒng)誤差進(jìn)行了分析。
在接觸式測(cè)量中,得到的點(diǎn)的坐標(biāo)為測(cè)頭球心的位置坐標(biāo),必須對(duì)其進(jìn)行半徑補(bǔ)償才能得到實(shí)際接觸點(diǎn)的坐標(biāo)。常用的補(bǔ)償方法有三點(diǎn)共圓法、直接補(bǔ)償法、曲線擬合法。
三點(diǎn)共圓法要求原始數(shù)據(jù)精度較高,一旦原始數(shù)據(jù)中存在粗大誤差,將在后續(xù)補(bǔ)償中被反復(fù)放大,產(chǎn)生錯(cuò)誤的結(jié)果。直接補(bǔ)償法有一定的局限性,工件的曲線方程必須已知,且對(duì)測(cè)量前的工件精度及測(cè)頭分辨率要求較高。而曲線擬合法則沒(méi)有那么苛刻的要求,且受到粗大誤差的影響不大,故通常采用該方法進(jìn)行測(cè)頭半徑補(bǔ)償。

圖1 軸對(duì)稱非球面
由于測(cè)量坐標(biāo)系和其原點(diǎn)與工件坐標(biāo)系不重合,故會(huì)產(chǎn)生位姿誤差,其會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性產(chǎn)生影響。

圖2 位姿誤差模型
若以工件坐標(biāo)系xyz為基準(zhǔn),測(cè)量坐標(biāo)系x'軸、y'軸、z'軸分別轉(zhuǎn)過(guò)α、β、Υ角度并將其原點(diǎn)平移T向量后與工件坐標(biāo)系重合。則其旋轉(zhuǎn)矩陣為:

若知道旋轉(zhuǎn)矩陣R和平移向量T,則測(cè)量坐標(biāo)系x'y'z'中的任意點(diǎn)都可以轉(zhuǎn)換到工件坐標(biāo)系xyz中,其變換公式如式(12)所示。

粗大誤差具有嚴(yán)重偏離周邊點(diǎn)數(shù)據(jù)的特點(diǎn),因此,可先采用比較法直接對(duì)粗大誤差點(diǎn)進(jìn)行剔除,然后采用拉依達(dá)準(zhǔn)則進(jìn)行處理,找到其中的粗大誤差點(diǎn)并對(duì)其進(jìn)行剔除。拉依達(dá)準(zhǔn)則在數(shù)據(jù)點(diǎn)滿足正態(tài)分布時(shí)可用,首先分別計(jì)算出該組數(shù)據(jù)的算術(shù)平均值Z和標(biāo)準(zhǔn)差σ,若Zi-Z的絕對(duì)值大于3σ則Zi含有粗大誤差,應(yīng)將其剔除。重復(fù)這一過(guò)程,直到所有的粗大誤差點(diǎn)被剔除。
系統(tǒng)硬件部分如圖3左部所示,由機(jī)床精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和計(jì)算機(jī)組成。機(jī)床精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)關(guān)鍵器件包括三個(gè)方向的伺服電機(jī)、各軸磁柵尺傳感器和Z軸搭載的接觸式測(cè)頭。測(cè)頭選用DGC-6PG/A型LVDT測(cè)頭。DGB-5B型電感測(cè)微儀是一種精度高,穩(wěn)定性好,能夠準(zhǔn)確測(cè)出微小尺寸變化的精密儀器,配合DGC-6PG/A型測(cè)頭可直接測(cè)出Z方向增量,測(cè)量精度可達(dá)0.1μm,重復(fù)測(cè)量誤差小于0.07μm。
計(jì)算機(jī)主機(jī)中插入了運(yùn)動(dòng)控制卡和數(shù)據(jù)采集卡。通過(guò)運(yùn)動(dòng)控制卡和計(jì)算機(jī)通信,控制機(jī)床精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)各軸上的伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的控制。當(dāng)機(jī)床Z軸上的接觸式測(cè)頭發(fā)出觸發(fā)信號(hào)時(shí),由數(shù)據(jù)采集卡采集到此刻機(jī)床各軸上磁柵尺傳感器的信號(hào),并將其轉(zhuǎn)化為測(cè)點(diǎn)的空間坐標(biāo)值傳給計(jì)算機(jī)保存,做進(jìn)一步數(shù)據(jù)處理。
該測(cè)量系統(tǒng)軟件部分如圖3右部所示,由在位數(shù)據(jù)采集模塊和在位數(shù)據(jù)處理模塊兩部分組成。在位數(shù)據(jù)采集模塊包括兩個(gè)模塊:運(yùn)動(dòng)控制模塊和數(shù)據(jù)采集模塊。通過(guò)對(duì)各個(gè)模塊進(jìn)行封裝,使得軟件的兼容性和可擴(kuò)展性良好。

圖3 測(cè)量系統(tǒng)總體方案
運(yùn)動(dòng)控制模塊用來(lái)控制機(jī)床精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)。由于電機(jī)最后到達(dá)的位置和設(shè)置的位置之間會(huì)存在誤差,采用增量式PID的模糊控制算法進(jìn)行誤差補(bǔ)償,可精準(zhǔn)控制三軸運(yùn)動(dòng),并實(shí)時(shí)顯示各軸誤差情況。該模塊中引入了手搖控制器使得控制過(guò)程更加簡(jiǎn)單方便。該手搖控制器有三個(gè)模塊,x/y/z軸選模塊、X1/X10/X100倍率放大模塊、脈沖發(fā)生器模塊。其中軸選和倍率模塊為開(kāi)關(guān)量,運(yùn)動(dòng)控制卡通過(guò)對(duì)對(duì)應(yīng)端口高低電平的判別即可對(duì)各開(kāi)關(guān)量的狀態(tài)進(jìn)行識(shí)別。脈沖發(fā)生器模塊中需為其提供+5v電壓,則當(dāng)搖動(dòng)手柄時(shí),對(duì)應(yīng)的2根引線之間會(huì)產(chǎn)生差分信號(hào),通過(guò)對(duì)該信號(hào)的計(jì)數(shù)即可得到脈沖個(gè)數(shù),再將其轉(zhuǎn)化為需要移動(dòng)的距離。
數(shù)據(jù)采集模塊使計(jì)算機(jī)和數(shù)據(jù)采集卡建立通信實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床三軸上磁柵尺傳感器位置信號(hào)的采集。該模塊中集成了采樣點(diǎn)路徑規(guī)劃、測(cè)點(diǎn)分布及其個(gè)數(shù)選取策略等功能。
在位數(shù)據(jù)處理模塊主要功能是進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,包括測(cè)量數(shù)據(jù)的誤差分離,非球面擬合,面型精度計(jì)算等。
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)量試驗(yàn)對(duì)該系統(tǒng)進(jìn)行精度標(biāo)定。如圖4所示,選用的標(biāo)準(zhǔn)球?yàn)棣?9.9965±0.0005mm,材料為不銹鋼。找到標(biāo)準(zhǔn)球頂點(diǎn)后在xoz平面內(nèi)將其設(shè)為坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0),沿x方向-2mm到2mm的范圍內(nèi)進(jìn)行步長(zhǎng)為0.05mm的逐點(diǎn)測(cè)量,得到的數(shù)據(jù)經(jīng)過(guò)誤差分離后對(duì)其進(jìn)行最小二乘法圓形擬合得到的擬合圓如圖5所示。其擬合半徑為20.0004mm,圓心為(0.0000,-20.0004),與標(biāo)準(zhǔn)球的理論半徑相比誤差小于0.003mm,由此可知,該系統(tǒng)的測(cè)量精度較高。

圖4 標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)量

圖5 標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)量數(shù)據(jù)擬合
如圖6所示,打開(kāi)測(cè)量軟件,連接運(yùn)動(dòng)控制卡和數(shù)據(jù)采集卡,設(shè)置好相關(guān)參數(shù),對(duì)非球面零件上的同一點(diǎn)進(jìn)行40次重復(fù)測(cè)量,其結(jié)果如圖7所示。圖8為單點(diǎn)重復(fù)測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)偏差分布情況,由圖可知,該測(cè)量系統(tǒng)單點(diǎn)重復(fù)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.00123mm,具有較好的穩(wěn)定性。

圖6 非球面零件測(cè)量

圖7 單點(diǎn)重復(fù)測(cè)量試驗(yàn)數(shù)據(jù)

圖8 單點(diǎn)重復(fù)測(cè)量偏差分布
對(duì)軸對(duì)稱非球面零件的子午線進(jìn)行在位測(cè)量試驗(yàn),所用零件為折射率為1.61的非球面防輻射樹(shù)脂鏡片,直徑70mm,中心厚度1.2mm。找到待測(cè)非球面零件頂點(diǎn)后沿X軸移動(dòng)測(cè)頭至零件邊緣并在xoz平面內(nèi)將該點(diǎn)的坐標(biāo)值設(shè)為(-35,0),從x坐標(biāo)為-35mm開(kāi)始,測(cè)量間距為1mm,采樣長(zhǎng)度為70mm,共計(jì)70個(gè)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。對(duì)子午線的測(cè)量結(jié)果誤差分離后,采用最小二乘法多項(xiàng)式擬合算法對(duì)其進(jìn)行擬合,得到的結(jié)果如圖9所示,可知其二次擬合和四次擬合相比殘差相差不大,故取二次擬合,其擬合方程為:


圖9 測(cè)量結(jié)果擬合曲線
取該零件中心局部,采用弓字型測(cè)量軌跡,測(cè)量范圍為x方向[-2,2]毫米,y方向[-2,2]毫米,x方向和y方向采樣間距都為0.4mm,得到的擬合曲面如圖10所示,其誤差平方和為12.65μm,標(biāo)準(zhǔn)差為0.32μm,通過(guò)與其設(shè)計(jì)曲面對(duì)比即可知其面型誤差。

圖10 弓字形測(cè)量軌跡擬合曲面
對(duì)該零件相同局部上的每個(gè)相同測(cè)點(diǎn)采用海克斯康三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行測(cè)量,并對(duì)其測(cè)得的結(jié)果進(jìn)行曲面擬合。為保證二者的測(cè)點(diǎn)盡可能一一對(duì)應(yīng),如圖11所示,將測(cè)頭沿著箭頭方向以0.001mm步長(zhǎng)緩慢移動(dòng),同時(shí)采集各點(diǎn)的坐標(biāo)值。當(dāng)測(cè)頭到達(dá)平臺(tái)邊緣A點(diǎn)時(shí),繼續(xù)向前移動(dòng)時(shí)其X方向坐標(biāo)會(huì)有一個(gè)跳變,記下該跳變點(diǎn)的前一個(gè)測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值(XA,YA),對(duì)該點(diǎn)進(jìn)行測(cè)頭半徑補(bǔ)償后的坐標(biāo)值(XA+r,YA)即為平臺(tái)邊緣點(diǎn)A的X、Y坐標(biāo)值。對(duì)該點(diǎn)進(jìn)行位姿校正后,在A點(diǎn)的基礎(chǔ)上,將測(cè)頭向X正方向移動(dòng)60mm,向Y軸正方向移動(dòng)30mm,到達(dá)鏡片上B點(diǎn),將該點(diǎn)作為鏡片上的參考點(diǎn)。再?gòu)倪@點(diǎn)出發(fā)按照規(guī)劃的軌跡進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)在海克斯康三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行測(cè)量時(shí),用同樣的方法將測(cè)頭沿著箭頭方向以0.001mm步長(zhǎng)緩慢移動(dòng),同時(shí)采集各點(diǎn)的坐標(biāo)值,找到平臺(tái)邊緣A點(diǎn)的坐(XA’,YA’),因三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已經(jīng)進(jìn)行過(guò)半徑補(bǔ)償,故只需在該點(diǎn)的基礎(chǔ)上將測(cè)頭向X正方向移動(dòng)60mm,向Y軸正方向移動(dòng)30mm,即可到達(dá)鏡片上的參考點(diǎn)B點(diǎn)。再?gòu)倪@點(diǎn)出發(fā)按照相同的軌跡進(jìn)行測(cè)量,從而保證機(jī)器上的測(cè)點(diǎn)和三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的測(cè)點(diǎn)盡可能一一對(duì)應(yīng)。

圖11 工件的測(cè)量
通過(guò)與該在位測(cè)量系統(tǒng)得到的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行對(duì)比,二者各測(cè)點(diǎn)坐標(biāo)值分布如圖12所示,二者擬合曲面z方向誤差情況如圖13所示,其最大值為0.00396mm,由此可知該在位測(cè)量系統(tǒng)得到的結(jié)果是可靠的。二者產(chǎn)生誤差的原因可能如下:1)二者各測(cè)點(diǎn)未嚴(yán)格一一對(duì)應(yīng);2)二者測(cè)量環(huán)境不同;3)二者所用軟件的數(shù)據(jù)處理精度不同;4)二者對(duì)工件的位姿誤差處理方式不同等。后續(xù)將對(duì)其誤差原因進(jìn)行更加細(xì)致的分析,設(shè)法將該測(cè)量系統(tǒng)的誤差降至最小。

圖12 二者各測(cè)點(diǎn)坐標(biāo)值對(duì)比

圖13 二者擬合曲面Z方向誤差

表4 不同規(guī)模下揀選路徑和時(shí)間的對(duì)比
非球面零件在眾多精密器械中有著廣泛的應(yīng)用,而檢測(cè)作為保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)顯得尤其重要。針對(duì)非球面零件在制造過(guò)程中的面型精度檢測(cè)完成了以下工作:
1)提出并開(kāi)發(fā)了一套軸對(duì)稱非球面零件在位測(cè)量系統(tǒng)。對(duì)該系統(tǒng)進(jìn)行了誤差分離,為測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性提供了保障;
2)通過(guò)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)球的測(cè)量,完成了該測(cè)量系統(tǒng)的精度標(biāo)定,測(cè)量誤差小于0.003mm。對(duì)該測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了單點(diǎn)重復(fù)測(cè)量試驗(yàn),驗(yàn)證了其具有較好的穩(wěn)定性;的問(wèn)題。本文根據(jù)倉(cāng)配一體化倉(cāng)庫(kù)的實(shí)際情況,建立TSP模型,分別用遺傳(GA)和遺傳模擬(GASA)算法對(duì)模型進(jìn)行求解。在Matlab2012a中進(jìn)行仿真,結(jié)果表明,在揀貨路徑方面,GA行走了505.8162m,GASA行走了502.7799m,路徑節(jié)約了0.6%,在揀貨時(shí)間方面,GA使用了442.0900s,GASA使用了439.7500s,時(shí)間節(jié)約了0.5%,故GASA比GA更適合求解這類問(wèn)題。同時(shí)反映出,當(dāng)揀貨數(shù)量越多時(shí),節(jié)約的揀貨距離以及時(shí)間也越多,從而提高了倉(cāng)庫(kù)整體的揀貨效率以及服務(wù)水平。
3)對(duì)軸對(duì)稱非球面零件進(jìn)行了在位測(cè)量試驗(yàn),擬合出了其子午線方程;對(duì)其中心局部進(jìn)行了弓字型軌跡測(cè)量試驗(yàn),擬合出了其曲面形狀,并與海克斯康三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)得的結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比,二者z方向最大誤差為0.00396mm;
4)該測(cè)量系統(tǒng)具有測(cè)量結(jié)果可靠,可降低非球面零件的加工成本,提高其加工效率等優(yōu)點(diǎn)。