章軍云：核心芯片工藝領(lǐng)域的青年先鋒

小芯

作為工藝研發(fā)工程師，中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所化合物部技術(shù)總監(jiān)章軍云始終以推動核心元器件自主創(chuàng)新為己任，堅守在核心芯片工藝領(lǐng)域一線，主持多項國家重點項目，在第二代半導(dǎo)體砷化鎵、第三代半導(dǎo)體氮化鎵領(lǐng)域，攻克了多個關(guān)鍵技術(shù)，研究開發(fā)出多種核心工藝，推動了化合物半導(dǎo)體等核心器件走向工程化應(yīng)用。

攻堅克難

2006年，章軍云進(jìn)入中國電子科技集團(tuán)公司第五十五所攻讀研究生，畢業(yè)后留在五十五所工作。

章軍云總說自己心不大，只要裝著問題就吃不下飯、睡不著覺，一定要想辦法解決。在工藝技術(shù)進(jìn)步的道路上，他全身心投入，一旦有了想法，確立了工藝技術(shù)試驗方案，就一頭扎進(jìn)去，有時為了能盡快得到試驗結(jié)果，要從白天一直忙到深夜。章軍云所在的化合物半導(dǎo)體工藝產(chǎn)線24小時不間斷運行，大家每次見到他都不知他上的是白班還是夜班。章軍云執(zhí)著而又充滿激情地工作，開拓了一項又一項工藝成果。提起他，大家說得最多的是：“找他別去辦公室，去工藝線上，他保準(zhǔn)在那里。”

2016年年初，章軍云晉升為副主任工藝師，主管產(chǎn)品工程師團(tuán)隊。他剛接手產(chǎn)品工作時，恰逢某大功放芯片遭遇技術(shù)問題，無法交付。在巨大的壓力面前，章軍云首先想到自己是一名共產(chǎn)黨員：“我不上，誰上？”他安撫住團(tuán)隊，繼而帶領(lǐng)大家快速、高效地進(jìn)行試驗，有時一天之內(nèi)就要進(jìn)行幾組實驗芯片的測試分析。章軍云敢于擔(dān)當(dāng)、勇于試錯，在較短的時間里找到了問題所在，攻克了技術(shù)瓶頸，保證了產(chǎn)品交付。

章軍云（右一）

研發(fā)某多功能芯片時，有一個工藝參數(shù)怎么也實現(xiàn)不了，團(tuán)隊成員在章軍云的影響下相互鼓勵，總結(jié)試驗結(jié)果的同時，不斷地去嘗試新的想法，最終，通過在試驗過程中抓細(xì)節(jié)、找靈感，獲得了理想的結(jié)果。章軍云說，在新型器件研發(fā)過程中遇到困難是常有的事，這時要對自己有信心，對團(tuán)隊有信心，不抱怨、不氣餒，用科學(xué)的方法去分析，大膽假設(shè)，要不斷地通過實驗來驗證哪種工藝條件和參數(shù)是最好的。

章軍云的愛人在一次參加所里舉辦的家庭開放日后寫道：“他經(jīng)常為了攻克技術(shù)難關(guān)加班到深夜，女兒睡著了他才到家，早上女兒醒來，他又上班去了。看著他全身心投入工作的樣子，看到他帶領(lǐng)團(tuán)隊取得的成績，我們?yōu)樗湴粒　?h3>改革創(chuàng)新

章軍云讀研時就有各種新奇想法，熱衷創(chuàng)新，工作后，在新工藝研發(fā)崗位上更是如魚得水。新工藝的開發(fā)是一項創(chuàng)新性的工作，需要不斷地摸索。章軍云善于在工作中發(fā)現(xiàn)問題，在摸索中提出問題，以實干精神研究、解決問題。在0.25um（微米），0.15um工藝平臺的研發(fā)工作中，他將電子束直寫工藝轉(zhuǎn)移到Stepper（步進(jìn)重復(fù)投影曝光）光刻工藝中，單步工藝的工作效率提高了近5倍。他曾在短短的三個月內(nèi)針對某個參與競標(biāo)的產(chǎn)品創(chuàng)新開發(fā)了一套新工藝。產(chǎn)品的性能指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)高出競爭對手，為占領(lǐng)市場搶占了先機，得到電路設(shè)計師的一致認(rèn)可。由章軍云主導(dǎo)開發(fā)的多款多功能芯片工藝平臺填補了該技術(shù)領(lǐng)域的空白，實現(xiàn)了從無到有、從有到優(yōu)的持續(xù)性革新與進(jìn)步。

對標(biāo)國際一流

永不滿足、不斷鉆研是科研人員必備的品質(zhì)。在取得多項工藝技術(shù)進(jìn)步后，章軍云已不滿足于國內(nèi)領(lǐng)先，而是轉(zhuǎn)而對標(biāo)國際最先進(jìn)的研究成果。每次討論工作時，章軍云總告訴團(tuán)隊成員：“這項技術(shù)部分參數(shù)與國際最新成果還有差距，是我們下一步重點要去攻克的難題。”在他看來，對標(biāo)國際不是把某一項或者幾項達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)，而是全方位達(dá)標(biāo)。在某0.15um新工藝研發(fā)中，章軍云敢于打破傳統(tǒng)的慣性思維，挑戰(zhàn)權(quán)威定論，攻關(guān)實現(xiàn)了高的縱深比細(xì)線條刻蝕工藝，對產(chǎn)品的擊穿電壓等性能指標(biāo)提升起到了關(guān)鍵作用。在0.15um工藝平臺性能優(yōu)化中，他攻克了一個又一個的技術(shù)難關(guān)，同時推進(jìn)十幾種芯片工藝的實驗驗證，實現(xiàn)了某基于0.15um工藝平臺多功能芯片的性能全面達(dá)到國際同等水平。

十余年間，章軍云用一項項榮譽詮釋著什么是青春風(fēng)采，先后榮獲所里的“最佳新人”“十佳員工”等稱號。2018年，章軍云榮獲中國電科青年拔尖人才。2019年，他作為骨干成員申報的射頻芯片項目榮獲國家科技進(jìn)步一等獎。2021年，章軍云被評為江蘇省勞動模范。

面對榮譽，章軍云一如既往地云淡風(fēng)輕，在他看來，從事科研工作首先要有一顆堅定的心，科研工作不可能一蹴而就，要經(jīng)歷一次又一次的失敗，因此，只有踏踏實實地工作，才能取得成功。

編輯 王冬艷 437408345@qq.com