章軍云：核心芯片工藝領域的青年先鋒

文/小芯

作為工藝研發工程師，中國電子科技集團公司第五十五研究所化合物部技術總監章軍云始終以推動核心元器件自主創新為己任，堅守在核心芯片工藝領域一線，主持多項國家重點項目，在第二代半導體砷化鎵、第三代半導體氮化鎵領域，攻克了多個關鍵技術，研究開發出多種核心工藝，推動了化合物半導體等核心器件走向工程化應用。

科技創新的道路不是坦蕩通途，

那里荊棘遍布，

先行者的腳步總是很寂寞，

還有失敗與挫折。

但沒有了夢想，

也就迷失了自我，

勇敢的創新者喜歡傲立霜雪，

踏平一路的坎坷，

登頂欣賞山峰的巍峨。

再回首，

沒有價值實現的生活叫活著；

有追求、有激情、有夢想、

有意義的活著才叫生活。

攻堅克難

2006年，章軍云進入中國電子科技集團公司第五十五所攻讀研究生，畢業后留在五十五所工作。

章軍云總說自己心不大，只要裝著問題就吃不下飯、睡不著覺，一定要想辦法解決。在工藝技術進步的道路上，他全身心投入，一旦有了想法，確立了工藝技術試驗方案，就一頭扎進去，有時為了能盡快得到試驗結果，要從白天一直忙到深夜。章軍云所在的化合物半導體工藝產線24小時不間斷運行，大家每次見到他都不知他上的是白班還是夜班。章軍云執著而又充滿激情地工作，開拓了一項又一項工藝成果。提起他，大家說得最多的是：“找他別去辦公室，去工藝線上，他保準在那里。”

2016年年初，章軍云晉升為副主任工藝師，主管產品工程師團隊。他剛接手產品工作時，恰逢某大功放芯片遭遇技術問題，無法交付。在巨大的壓力面前，章軍云首先想到自己是一名共產黨員：“我不上，誰上？”他安撫住團隊，繼而帶領大家快速、高效地進行試驗，有時一天之內就要進行幾組實驗芯片的測試分析。章軍云敢于擔當、勇于試錯，在較短的時間里找到了問題所在，攻克了技術瓶頸，保證了產品交付。

研發某多功能芯片時，有一個工藝參數怎么也實現不了，團隊成員在章軍云的影響下相互鼓勵，總結試驗結果的同時，不斷地去嘗試新的想法，最終，通過在試驗過程中抓細節、找靈感，獲得了理想的結果。章軍云說，在新型器件研發過程中遇到困難是常有的事，這時要對自己有信心，對團隊有信心，不抱怨、不氣餒，用科學的方法去分析，大膽假設，要不斷地通過實驗來驗證哪種工藝條件和參數是最好的。

章軍云的愛人在一次參加所里舉辦的家庭開放日后寫道：“他經常為了攻克技術難關加班到深夜，女兒睡著了他才到家，早上女兒醒來，他又上班去了。看著他全身心投入工作的樣子，看到他帶領團隊取得的成績，我們為他驕傲！”

改革創新

章軍云讀研時就有各種新奇想法，熱衷創新，工作后，在新工藝研發崗位上更是如魚得水。新工藝的開發是一項創新性的工作，需要不斷地摸索。章軍云善于在工作中發現問題，在摸索中提出問題，以實干精神研究、解決問題。在0.25um（微米），0.15um工藝平臺的研發工作中，他將電子束直寫工藝轉移到Stepper（步進重復投影曝光）光刻工藝中，單步工藝的工作效率提高了近5倍。他曾在短短的三個月內針對某個參與競標的產品創新開發了一套新工藝。產品的性能指標遠遠高出競爭對手，為占領市場搶占了先機，得到電路設計師的一致認可。由章軍云主導開發的多款多功能芯片工藝平臺填補了該技術領域的空白，實現了從無到有、從有到優的持續性革新與進步。

對標國際一流

永不滿足、不斷鉆研是科研人員必備的品質。在取得多項工藝技術進步后，章軍云已不滿足于國內領先，而是轉而對標國際最先進的研究成果。每次討論工作時，章軍云總告訴團隊成員：“這項技術部分參數與國際最新成果還有差距，是我們下一步重點要去攻克的難題。”在他看來，對標國際不是把某一項或者幾項達到國際標準，而是全方位達標。在某0.15um新工藝研發中，章軍云敢于打破傳統的慣性思維，挑戰權威定論，攻關實現了高的縱深比細線條刻蝕工藝，對產品的擊穿電壓等性能指標提升起到了關鍵作用。在0.15um工藝平臺性能優化中，他攻克了一個又一個的技術難關，同時推進十幾種芯片工藝的實驗驗證，實現了某基于0.15um工藝平臺多功能芯片的性能全面達到國際同等水平。

十余年間，章軍云用一項項榮譽詮釋著什么是青春風采，先后榮獲所里的“最佳新人”“十佳員工”等稱號。2018年，章軍云榮獲中國電科青年拔尖人才。2019年，他作為骨干成員申報的射頻芯片項目榮獲國家科技進步一等獎。2021年，章軍云被評為江蘇省勞動模范。

面對榮譽，章軍云一如既往地云淡風輕，在他看來，從事科研工作首先要有一顆堅定的心，科研工作不可能一蹴而就，要經歷一次又一次的失敗，因此，只有踏踏實實地工作，才能取得成功。