多晶硒化鋅的制備方法

申請(qǐng)(專利)號(hào)：CN202011566453.2

公開(公告)日：2021-05-14

申請(qǐng)(專權(quán))人：廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股份有限公司

摘要：本公開提供了一種多晶硒化鋅的制備方法，其包括步驟：將厚度為30mm～50mm的多晶硒化鋅片的表面進(jìn)行處理，得到粗糙度小于Ra20的硒化鋅拋光片，將硒化鋅拋光片等離子清洗后置于石墨襯底上；步驟二，將鋅料安裝在坩堝內(nèi)；步驟三，將石墨襯底沉積器安裝在石墨坩堝上，再置于化學(xué)氣相沉積真空爐內(nèi)；步驟四，在室溫下，化學(xué)氣相沉積真空爐通氬氣；步驟五，坩堝升溫，石墨襯底沉積器升溫；步驟六，鋅開始蒸發(fā)，向石墨襯底沉積器內(nèi)通入氬氣攜帶的硒化氫氣體，向坩堝內(nèi)通入氬氣；步驟七，鋅蒸發(fā)完畢，停止通入硒化氫氣體，坩堝降溫，石墨襯底沉積器降溫，出爐得到最終整體厚度為60mm～100mm的多晶硒化鋅。本公開可以制備得到厚尺寸多晶硒化鋅材料。