低壓穩壓二極管芯片制造工藝

楊春梅 丁小宏

摘 要：隨著我國科學技術的迅速發展，電子產品在我國社會上得到了廣泛的應用，我國對低壓穩壓二極管的需求量也日漸增多，低壓穩壓二極管芯片制造工藝有很多種，目前，我國還是以合金法、外延法以及擴散法這三種制造工藝方法為主要制造工藝。本文對低壓穩壓二極管芯片制造工藝進行了闡述，具體的分析了合金法、外延法以及擴散法這三種制造工藝在低壓穩壓二極管芯片中的應用。

關鍵詞：穩壓二極管;隧道擊穿;芯片;低壓

一、二極管芯片制造工藝的概述

集成電路功率消耗的多少主要取決于電路的工作電壓以及工作電流的高低，電路的工作電流以及電壓越低，集成電路所消耗的功率就越少，因此，現在的電子設備產品對低壓穩壓二極管芯片的需求也在迅速的增多，并且對低壓穩壓二極管芯片的質量有了更高的要求，既要提高穩壓精度，同時還對低壓穩壓管的漏電流提出了更嚴格的要求。

隧道擊穿是低壓穩壓二極管的主要擊穿原理，隧道擊穿與雪崩擊穿有著明顯的區別，隧道擊穿通過強大電場的作用，將大量的電子從價帶穿過禁帶并進入到導帶所引發的一種隧道效應的擊穿現象。

二、制造工藝原理

雖然低壓穩壓二極管芯片的制造工藝種類比較繁多，但是目前我國穩壓管主要有合金法、外延法以及擴散法這三種制造工藝。

（一）合金法

合金法制造工藝是應用于低壓穩壓二極管芯片的最早期的制造，合金法制造工藝采用的是N型襯底，低壓穩壓二極管芯片的早期合金法制造工藝是指應用N型襯底通過硅鋁片或者蒸發淀積鋁再在高溫燒結爐中燒結形成鋁硅互融體的一種制造工藝。

（二）外延法

外延法制造工藝主要是用來制造5.5V-36V的穩壓二級管產品，外延法制造工藝是采用硅外延片為襯底，并在襯底上進行擴散或者采用離子注入形成PN結的一種制造工藝。

（三）擴散法

擴散法穩壓管制造工藝不僅一種經濟適用型的制造工藝，同時參數也很容易控制。擴散法制造工藝是采用高濃度的P型襯底，在通過控制N型擴散的濃度以及結深，達到精準的控制穩壓管的電壓值的一種穩壓二級管產品制造工藝。5.1V-8.5V的穩壓二級管產品基本上都是應用擴散法制造工藝生產。

三、三種方法的應用比較

合金法制造穩壓管是依靠合金的溫度來控制電壓，控制電壓范圍較小，精準度也不是很高因此，一般用來制造2.8V-3.3V電壓范圍的穩壓管，當電壓超過了3.3V的低壓穩壓管，是不能采用原始的依靠表明金屬與硅的共融體自然冷卻后析出反型層形成PN結的制造工藝，必須要采用一種新的合金法來進行制造，即要在采用的N型襯底上進行擴散形成P型區后，再將金屬AL進行蒸發采用高溫合金產生合金結。合金法制造工藝大致有兩種結構，一種結構是采用擴散結包圍合金穩壓換管芯結構，另一種結構是采用合金結與電極間有氧化層，并利用氧化層的厚度和合金的溫度來調整穩壓電壓大小的合金法結構。

外延法制造工藝比較適用于5.5V-8.5V左右的穩壓管，外延法制造的穩壓管的結特性非常好，結深也比較好控制，但是外延法制造工藝的制造成本非常高，外延工藝制造是采用外延片或者單晶片外延摻雜工藝，還要離子注入工藝來準確控制摻雜結深，制造材料的成本極高，并且對制造工藝是設備裝置要求也非常嚴格，外延法制造工藝對于結深的掌控特別精準，在生產制造的過程中難度極高，并且芯片的對檔率也比較低，

擴散法工藝制造一般是適用于生產制造7V以上是穩壓管，擴散法工藝制造對工藝線要求比外延法制造工藝要低許多，并且結深也較容易控制，目前，我國的穩壓二極管制造工藝大多數生產廠家都是采用擴散法工藝制造，然而擴散法制造工藝在穿通型穩壓管時要PN結為淺結，并且要求擴散的濃度也極高，因此，一般穩壓管生產廠家只有生產7V以上的穩壓管時才應用擴散法工藝制造。

四、二極管芯片制造工藝的發展方向

穩壓管生產廠家在選擇穩壓管制造工藝方法時，必須要對合金法工藝制造，外延法工藝制造以及擴散法工藝制造這三種穩壓管制造工藝的進行科學深入的研究分析，再并結合我國當前市場需求狀況以及所生產的穩壓管的特性，然后再進行科學選擇一種適合自身廠家生產穩壓管的工藝制造方法。

例如，外延法工藝制造生產的穩壓管，基本上是采用高端芯片進行穩壓管生產，外延法工藝生產出來的穩壓管，價格非常高，市場需求量不多，因此，不能夠大量生產，只能小批量的生產。擴散法工藝制造穩壓管，生產工藝比較容易掌控，并且生產出來的產品合格率極高，擴散法將會成為我國穩壓管工藝制造方法的發展趨勢，想要提升穩壓管擴散法工藝制造的生產質量以及效率，在應用合金結與擴散結的方法，降低PN結的擊穿電壓，同時還要提高擴散的表面濃度，減少芯片漏電流。

五、總結

綜上所述，伴隨著這個全球化互聯網電子時代的到來以及我國社會以及家庭電子產品的普及應用，市場對于穩壓管的需求也在逐漸增多，對于穩壓管產品的質量以及價格等方面也有了進一步的要求，因此要求我國穩壓管生產廠家，要對穩壓管制造工藝進行深入的研究以及開發，在選擇生產制造穩壓管工藝時，首先要考慮企業自身的生產流水線的水平狀況，然后再結合市場需求，進行綜合評估后，再選擇適合的穩壓管制造工藝進行生產。

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作者簡介：

楊春梅（1993年10月），性別：女，民族：漢，籍貫：云南省建水縣，當前職務：項目管理，當前職稱：助理工程師，學歷：大學本科，研究方向：二極管制造.