馮麗霞 ,牟 潔 ,魏 錚 ,王亞曉 ,趙 藝 ,張 儒
(1.天津市聯合環保工程設計有限公司,天津300191;2.天津市環境保護技術開發中心設計所,天津300191)
天津市某半導體有限公司是以生產半導體分立器件和半導體硅材料為主的高新技術企業,主要產品有高壓硅堆、硅材料等。由于生產工序復雜、原料種類繁多,產生了大量性質不同的生產廢水。在綜合分析生產廢水的進水水質、特點及出水排放要求的基礎上,結合同類廢水站的實踐經驗,提出了分類收集—分質預處理—集中生化處理的處理思路。根據特征污染物類型將廢水分為有機廢水、顆粒廢水、含氟廢水等,選擇鈣鹽沉淀法+高密度沉淀池處理含氟廢水;預調節沉淀池+板框壓濾機處理顆粒廢水;水解酸化+生物接觸氧化+活性砂過濾處理綜合廢水。
廢水進水水量、進水水質及處理系統出水水質限值見表1。

表1 進水水量、進水水質及處理系統出水水質限值
由表1可知,廢水具有以下特點:(1)各類廢水典型污染物各不相同,污染成分復雜;(2)含氟廢水氟化物濃度高,同時,由于醋酸的使用,導致COD較高;(3)有機廢水 COD 高,其余污染物濃度低;(4)由于顆粒廢水中含異丙醇等,導致懸浮物濃度高,同時有機物濃度高。
工藝流程見圖1。

圖1 工藝流程
綜合考慮以上各類廢水水質差別較大,采用分類收集—分質預處理—集中生化處理的處理思路進行設計。
(1)含氟廢水預處理。含氟廢水總體呈酸性,為避免對設備及池體造成腐蝕,首先將pH粗調至中性,后自流進入調節池內進行儲存及調節。……