Picarro推出用于半導(dǎo)體晶圓廠份氣體分子污染監(jiān)測系統(tǒng)

王恒宇

近日，Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)———Picarro SAM（取樣Sample、分析Analyze以及監(jiān)測Monitor）。該系統(tǒng)由Picarro在基于CRDS的傳感器組成，該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣，而不會影響傳感器的性能。

新發(fā)明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢，使其在很短的時間內(nèi)達到萬億分之幾（ppt）的檢測靈敏度，并能快速將SAM系統(tǒng)恢復(fù)到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監(jiān)視系統(tǒng)的理想選擇。該系統(tǒng)帶有易于使用的圖形用戶界面，可進行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口采樣，并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸，這3個關(guān)鍵AMC會影響半導(dǎo)體晶圓的產(chǎn)量。展望未來，我們將根據(jù)Picarro的半導(dǎo)體產(chǎn)品路線圖為其他氣體提供SAM系統(tǒng)。

SAM系統(tǒng)路線圖還將支持復(fù)雜的AMC分析，以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置，從而允許采取更快的糾正措施，以提高與AMC相關(guān)的晶圓產(chǎn)量。