多晶硅生產中廢氣處理工藝改造

吳 偉

（新疆協鑫新能源材料科技有限公司，新疆 昌吉 830000）

關鍵字：工藝改造；廢氣處理；多晶硅

多晶硅作為太陽能光伏產業的重要原料，隨著全球經濟的發展，光伏產業的迅速擴大，對多晶硅的需求量日益增加。在生產多晶硅期間形成的廢氣不僅屬于有毒有害氣體，并且還帶有易燃易爆的特點，假如不進行有效處理便隨意排放，將會嚴重破壞生態環境，并且還會引發不必要的爆炸與火災等事故，進而帶來嚴重的經濟損失，危及人們的身心健康。所以，積極采取合理措施對廢氣進行高效處理，能夠有效保證多晶硅的正常生產，維護生態平衡。

1 多晶硅生產廢氣處理現狀

1.1 多晶硅廢氣的產生原理

當前我國通常會選用改良西門子法生產多晶硅，在主體生產期間仍然是使用硅粉、氫氣、氯化氫及四氯化硅來生產三氯氫硅，然后在再將其進行冷凝、提純后與氫氣經過還原反應得出高濃度的硅單質，然后再經由還原爐中產出多晶硅。在這一反應期間，生產三氯氫硅過程中殘余的氯化氫氣體、氯硅烷氣體和富余的氫氣都屬于廢氣，所以生產多晶硅所帶來的的廢氣有著極強的腐蝕性與酸性，屬于易燃易爆氣體，因此有必要加以處理。

1.2 處理多晶硅生產廢氣的方法

處理生產多晶硅廢氣的目的即去除廢氣當中的氯硅烷以及氯化氫，這對這些氣體的處理方法目前采用最多的為燃燒法、堿洗法以及水洗法。其中堿洗法與水洗法原理類似，即利用堿與水的吸收作用來去除廢氣當中的氯硅烷以及氯化氫。……