新型飛秒激光等離子激元光刻技術可加工石墨烯

石墨烯具有優異的光學、力學、電學等性能，被認為是一種未來革命性的材料，成為材料領域研究的熱門材料，但在石墨烯的制備微納結構中，現有的自組裝、電子束刻蝕和極紫外光刻等技術，存在著耗時較長，成本較高，缺乏通用性等問題。因此，急需一種石墨烯微納制備技術，如何利用靈活簡便的加工手段解決加工精度和加工效率問題是拓展飛秒激光實用化的關鍵所在。

2020年5月10日，中科院長春光學精密儀器與物理研究所開發了一種飛秒激光等離子激元光刻技術（FPL），相關成果發表在《光：科學與應用》上。利用該技術，能夠實現高質量納米結構周期制備，根據飛秒激光的非線性光學特點，FPL技術加工過程不易受材料表面缺陷、雜質等因素的影響，加工基底也不易受到材料種類的限制。通過這項技術，可以進行周期性微納結構的靈活制備。這項研究對推動石墨烯材料的應用與普及有著非常重要的意義。

來源：新華網

http：//www.xinhuanet.com/science/2020-05/11/c_139046351.htm

下載日期：2020-05-12