迄今最小NEMS加速度傳感器問世

2019年9月2日，Nature Electronics在線報導了瑞典斯德哥爾摩KTH皇家理工學院的研究人員利用高導電性納米材料石墨烯，研制出了迄今最小的NEMS加速度傳感器（Graphene ribbons with suspended masses as transducers in ultra-small nanoelectromechanical accelerometers），比傳統的最先進的MEMS硅加速度計至少小兩個數量級。這一設備有望促進人體傳感器和導航技術的發展，用于研制心血管疾病監測系統、超靈敏的可穿戴設備和便攜式運動捕捉系統等。

隨著技術的進步，作為醫療創新的基礎，微機電系統（MEMS）正在向納米機電系統（NEMS）過渡。石墨烯獨特的材料特性使得越來越小的加速度傳感器成為可能。

研究人員Xuge Fan介紹說：“由于石墨烯的原子級厚度，使我們可以縮小元件的尺寸，我們開發了一種壓阻式NEMS加速度傳感器，比目前任何可用的MEMS加速傳感器都要小得多。盡管小，但無損其靈敏度。”

這種小型加速度傳感器未來有望應用于多個領域，如手機導航、手機游戲和計步器、心臟病監測系統和可以監測人體運動的運動捕捉可穿戴設備。其他潛在用途還包括超小型NEMS傳感器和執行器，如諧振器、陀螺儀和麥克風等。此外，這些NEMS傳感器也可以作為一個系統，用來表征石墨烯的機械和機電性能。