國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”已通過驗收。該光刻機由中國科學院光電技術研究所研制,光刻分辨力達到22納米,結合雙重曝光技術后,未來還可用于制造10納米級別的芯片。

科研人員展示利用超分辨光刻設備加工的超導納米線單光子探測器
中科院理化技術研究所許祖彥院士等驗收組專家一致表示,該光刻機在365納米光源波長下,單次曝光最高線寬分辨力達到22納米。項目副總設計師胡松介紹,中科院光電所此次通過驗收的表面等離子體超分辨光刻裝備,打破了傳統路線格局,形成一條全新的納米光學光刻技術路線,具有完全自主知識產權,為超材料/超表面、第三代光學器件、廣義芯片等變革性領域的跨越式發展提供了制造工具。
是誰帶來遠古的呼喚?是誰留下4萬年的祈盼?是誰手執石葉在“世界屋脊”駐足?

尼阿底遺址出土的石葉、石核
11月30日,美國《科學》雜志在線發表中國科學院古脊椎動物與古人類研究所張曉凌等的研究論文,公布了在青藏高原腹地尼阿底遺址的重大考古發現及研究成果。該項發現將人類首次登上青藏高原的歷史推進到4萬年前,書寫了世界范圍內史前人類征服高海拔極端環境的最高、最早紀錄。
據中國科學院古脊椎動物與古人類研究所研究員高星介紹,考古隊員們在這里發現了大量的石葉、石核、刮削器等石制品。經過地層分析和光釋光與碳十四測年,判斷先民在該遺址活動的時間為4萬~3萬年前,證實古人在距今4萬~3萬年前已踏足青藏高原的高海拔地區,在世界屋脊上留下了清晰、堅實的足跡。