磁控濺射在PET上制備Fe薄膜及性能研究

南京郵電大學 李令斌 張 超 葉 帥

隨著自旋電子學的發展，在各種襯底上制備導電薄膜成為越來越多人研究的內容，基于柔性材料PET耐高溫、價格便宜、資源豐富等優良特性，在柔性襯底PET材料上，通過磁控濺射的技術，以Fe為靶材制備薄膜，通過研究不同濺射時間對薄膜X射線衍射圖譜的不同，我們得出濺射時間對薄膜的結構形成并無明顯的影響，鑒于這一實驗結果，我們制定下一步實驗計劃，研究濺射壓強對薄膜影響。

引言：柔性導電透明薄膜具有重量小、體積占比小、易于折疊和方便攜帶的特點，在生活中，已經被廣泛地應用在塑料薄膜太陽能電池、不易碎熱反射鏡、液晶顯示屏和一些柔性的電光材料等領域。對于導電薄膜的制備，通常會在薄膜額材料和襯底的材料兩方面進行選擇，由于我們研究的是柔性襯底上制備透明導電薄膜，對于薄膜材料，我們需要其具有良好的光電性能的同時，還要關注其有無毒性、資源的價格和制作成本等特點；對于襯底的選擇，我們要求其成膜溫度盡可能低，這就要求所選用的柔性襯底需要具有耐高溫的特性，另外對其透明性也有一定的要求，透明度越高越好。

自旋電子學，也被稱為自旋電子，是本征的研究自旋的電子和其相關聯的磁矩，除了其基本電子電荷，在固態設備。自旋電子學與傳統電子學的根本區別在于，除電荷狀態外，電子自旋還被用作進一步的自由度，對數據存儲和傳輸的效率有影響。……