Quanta 400F掃描電子顯微鏡的故障分析與保養維護

姚麗娟, 龍 偉, 靳長清, 金耀華, 朱 滿(西安工業大學 材料與化工學院, 西安 710021)

Quanta 400F掃描電子顯微鏡的故障分析與保養維護

姚麗娟, 龍 偉, 靳長清, 金耀華, 朱 滿
(西安工業大學 材料與化工學院, 西安 710021)

Quanta 400F掃描電鏡為常規的大型精密儀器，在運行過程中常常會出現各種設備故障。做好掃描電鏡日常管理工作，可提高其各部件的使用壽命。主要介紹了該掃描電鏡一些常見的故障及排除方法,包括冷卻循環系統故障和真空系統故障；另外還介紹了掃描電鏡易耗損件的保養維護措施,包括燈絲和物鏡光闌的保養及維護。

掃描電鏡；故障分析；保養維護

Quanta 400F掃描電子顯微鏡是FEI公司出產的一款熱場高分辨環境掃描電鏡，其對日常維護要求較為苛刻。這就對設備管理員提出了較高的要求，不僅需要掌握一定的機電知識，而且要對掃描電鏡的基本結構和常見故障有一定了解[1]。多數情況下，精密掃描電鏡出現的故障看起來很嚴重，實際上卻可以通過細致的分析和簡單的維修來解決。在掃描電鏡出現故障后，設備管理員通過與維修工程師進行交流，便可以解決一些簡單的故障問題，這樣既能加深對掃描電鏡的了解，也能節省大量的維修費用和時間。

日常使用中，規范的操作與保養可保持掃描電鏡的原有性能和延長各種耗材的使用壽命[2-3]。當掃描電鏡出現故障后，應首先判斷故障的大體部位或原因，然后逐級檢查，將故障的范圍最大限度地減小，最后查找出故障發生的原因或具體發生故障的元件，進而解決故障[4]。……