晶體生長爐用大電流電源設計

何雅琴， 耿浩然

(常州機電職業技術學院 信息工程學院， 江蘇 常州 213164)

晶體生長爐用大電流電源設計

何雅琴， 耿浩然

(常州機電職業技術學院 信息工程學院， 江蘇 常州 213164)

采用主從式結構，設計了一種晶體生長爐用大電流電源。每條支路分別為系統提供電流，通過匯流排把每條支路電流匯總后為晶體生長爐工作提供相應電流。每條支路采用PID算法控制PWM模塊的輸出電壓，保證了每條支路輸出電流的一致性，符合電源并聯均流的要求。系統經過測試，該電源每條支路輸出的電流穩定可靠、誤差小，能夠滿足晶體生長爐工作對電源的要求。

晶體生長爐； 大電流； 并聯； 均流

0 引 言

隨著科技進步，晶體在航空、軍事、新能源等不同的領域應用非常廣泛[1]。由于自然界的天然晶體不能滿足人們的需求，人工晶體成為了必然的替代品。晶體生長爐專用于人工晶體的制造，其工作一般需要很大的電流，一般單一的電源很難滿足其需求。眾所周知，通過電源并聯可以獲得很大的電流，但電源串聯容易并聯難。如果直接將電源并聯，各個電源承受的負載不均衡，或導致電源的過載或輕載運行，影響電源的壽命。比較可行的方案是對并聯的電源采用電源均流技術。根據常州江南電力使用的晶體生長爐對電源的需求，本文設計了一種晶種晶體生長爐用大電流電源。

1 系統方案

晶體生長爐用大電流電源系統采用了主-從式結構，如圖1所示。主機部分完成電流、從機路數的設置以及與PC機的通信，并對匯流排的電壓進行測量，把檢測的匯流排電壓發送給各路從機。各路從機根據主機的配置信息，計算每路從機所要提供的電流大小，如主機設置晶體生長爐所需工作電流為1 kA，共10路從機，則從機計算出自身所需提供的電流為100 A。

圖1 大電流電源系統方案圖

從機根據每路銅排電阻的大小(固定值)，可以計算出每路銅排電阻兩端的電壓，銅排電阻右端的電壓為匯流排的電壓，由主機負責采集并發送給每路從機，每路從機根據主機發送過來的匯流排電壓，可以計算出PWM模塊所需提供的電壓，從機通過輸出PWM信號控制PWM模塊輸出相應電壓。為了保證每路電流輸出的穩定性，每路從機對銅排電阻左端的電壓采用了PID控制。系統工作過程中，每路從機通過PID算法不斷調整PWM模塊的輸出電壓，以保證每一支路輸出電流一致。各個支路電流通過匯流排匯總后為晶體生長爐工作提供大電流。

2 硬件的實現

2.1 主機和從機的CPU模塊

主機和從機的CPU都采用了宏晶科技出品的增強型單片機STC12C5A60S2[2]，基于以下兩個因素考慮：主機需要和各路從機通信(RS-485)，同時也要與PC機通信，需要兩路獨立的串行通信口，STC12C5A60S2單片機正好有2個含獨立波特率的UART口[3-4]；從機需要輸出PWM信號控制PWM模塊輸出相應的電壓，STC12C5A60S2單片機內含2路PWM輸出接口。同時該單片機還包含60 Kb 閃速程序存儲器，1 280B數據存儲器，4個16 bit定時/計數器，8通道10 bit A/D[5]。由于主機需要保存系統設置的參數，故擴展了一片串行FLASH存儲器AT24C01芯片，主機通過模擬I2C時序操作該存儲器。從機則無需擴展任何存儲單元。

2.2 A/D模塊

主機需要采集匯流排(銅排電阻右端)的電壓，從機需要采集銅排電阻左端的電壓，故主機和從機都需要實現A/D功能。雖然STC12C5A60S2單片機具有片內A/D,但其轉換精度只有10 bit，所以主機和每路從機都擴展了一片12 bit的串行A/D轉換芯片ADS7818[6]。該芯片可以使用單一電源5 V供電，串行數據傳輸方式，高達500 kHz的采樣速率。ADS7818采用外部參考電壓工作方式，外部參考電壓接由高精度電壓模塊提供的2.5 V電壓，故A/D能夠測量的范圍為0～5 V(2.5 V×2)[7]，而匯流排和銅排電阻左端的電壓一般在20～30 V左右，因此需要對電壓信號進行處理后才能夠進行A/D,如圖2所示。ADS7818接口電路如圖3所示。

圖2 A/D前端電壓處理圖

2.3 PWM模塊

PWM模塊由從機控制，模塊采用了江南電力提供的軍用級PWM模塊，該模塊包含電壓輸入、輸出部分，PWM控制部分(見圖1)。控制部分接收從機發送的PWM信號，PWM模塊根據該信號不斷調整輸出電壓達到規定的值。每路PWM模塊電壓輸出部分和銅排電阻左端連接了一只高壓大電流整流二極管，防止電流反串造成相關芯片損壞。本系統所針對的晶體生長爐匯流排電壓一般固定在30 V，每路高精度銅排電阻(定制)為5 mΩ，因此，系統如果采用10路從機，只要控制每路PWM模塊提供的電壓為30.5 V，晶體生長爐就能獲得1 kA的工作電流。為了增加電流輸出冗余度，一般可以多增加兩條支路以達到減小每一路電流輸出，降低銅排電阻兩端電壓差的作用，這樣就可以選用電阻值較小的銅排電阻，在恒流輸出情況下可以節省能耗。

2.4 通信模塊

主機(2路RS-485通信)和客戶端電腦、主機和每一路從機之間(1路RS-485通信)都采用RS-485通信。每路從機地址分別采用撥碼開關設置。由于STC12C5A60S2單片機自帶的串行通信口都采用TTL電平，所以RS-485通信的實現采用了美國美信公司生產的MAX485芯片[8-9]，通過該芯片可以將TTL電平轉換成滿足RS-485通信的差分信號。該芯片采用單一電源5 V供電，單片機的串行輸出TXD和串行輸入RXD引腳分別連接該芯片的RO和DI引腳[10-11]，并通過一個單片機的I/O引腳的置1或清0來控制數據的接收和發送，并在MAX485芯片的A和B之間加一個100 Ω的匹配電阻。

2.5 人機接口

人機接口主要用于系統參數的設定，主要包括鍵盤和顯示器兩部分，鍵盤采用了4只獨立式按鈕實現。顯示器采用了4只數碼管，通過4片74LS164的高低位串聯實現了數碼管的靜態顯示[12]。

3 軟件的實現

3.1 主機部分軟件

主機部分主要實現系統參數的配置，與客戶端電腦、從機的通信以及采集匯流排的電壓，其工作流程如圖4所示。主機開機后首先進行板級初始化，并從AT24C01中讀取系統配置參數，如果參數不符合系統運行要求，則重新配置晶體生長爐工作電流，從機數量等參數，并把相關參數發送至各路從機。接著，主機開始采集匯流排端的電壓，并把電壓值發送至各路分機，分機結合該電壓和自身探測的銅排電阻左端電壓對PWM模塊的輸出電壓進行PID控制，如果PC端請求主機發送相關數據和參數，主機就把相關數據通過RS-485接口發送至PC機。

3.2 從機部分軟件

晶體生長爐用大電流電源系統的每一路從機的具體工作過程如圖5所示。

每路從機分別和主機通過RS-485總線通信，獲得系統配置信息，并根據晶體生長爐工作電流、從機數量，計算出每路從機自身需要提供的電流，并不斷獲得主機發送過來的匯流排電壓，從機結合每路銅排電阻大小，和自身檢測到的銅排電阻左端電壓，控制PWM模塊輸出合適的電壓，以此獲得每條支路需提供的電流。每路從機都通過PID算法控制PWM模塊輸出電壓，保證了輸出電壓的穩定性，每條支路所提供電流之間的誤差也很小，能夠滿足電源并聯需要均流的要求。

3.3 PID算法的實現

PID控制及比例、積分、微分控制，該控制方式具備較強的魯棒性和準確度，是目前工業生產過程控制使用較為廣泛的方法[13]。晶體生長爐用大電流電源，系統的每一路從機都實現了PID算法。如圖6所示，輸入值與輸出值的差值e(t)作為PID控制器的輸入，PID控制器對差值e(t)進行比例、積分、微分運算后求和并輸出m(t)。在連續時間內，PID算法表達式為[14]：

(1)

式中：kp為比例系數，ki為積分系數，kd為微分系數。

本系統采用C語言實現了增量式PID算法，為了簡化編程過程，對式(1)進行了離散化，離散后的算法表達式為[15]：

Δm(k)=kp[e(k)-e(k-1)]+kie(k)+kd[e(k)-2e(k-1)+e(k-2)]

(2)

式中的增量Δm(k)取決于最近3次的采樣量。離散化后的增量式PID算法很容易用單片機實現。為了方便數據計算和操作，定義了一個PID數據結構，并依據式(2)計算出Δm(k)(元素sum_e)，把Δm(k)的值做為PWM模塊的控制依據。圖7為增量式PID算法的流程圖。

struct PID { //PID算法數據結構

float setpoint; // 設定目標值

float e_0; // e[k]

float e_1; // e[k-1]

float e_2; // e[k-2]

float kp; // 比例常數

float ki; // 積分常數

float kd; // 微分常數

float sum_e; // 依據式(2)計算出//的偏差

};

struct PID spid;

4 結 語

設計了一種晶體生長爐用大電流電源，采用主從結構，每路從機分別為晶體生長爐提供相應的電流。從機通過增量式PID算法控制PWM模塊輸出相應的電壓，從而保證每條支路輸出的電流滿足電源均流要求。該電源通過在江南電力公司測試和試用，能滿足晶體生長爐工作對電源的要求，千安級電流輸出穩定性較高。

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Design of High-current Power Supply for Crystal Growth Furnace

HEYaqin，GENGHaoran

(Department of Information Engineering, Changzhou Institute of Mechatronic Technology, Changzhou 213164, Jiangsu, China)

A high-current power supply for crystal growth furnace is designed by using the master-slave structure. Each branch provides the current for system. It can provide operating current for the crystal growth furnace after the flow of each branch by bus bar. Each branch uses the PID algorithm to control the output voltage of the PWM module. This can ensure the consistency of the output current of each branch. It can meet the requirements of the parallel current sharing. The test shows that the output of each branch of the power supply is stable and reliable, and the error is small. It can meet the requirement of power supply for crystal growth furnace.

crystal growth furnace； high-current； parallel； sharing

2016-07-28

江蘇省青藍工程資助項目(蘇教師(2016)15號)；江蘇省高校優秀中青年教師和校長境外研修計劃資助項目(蘇教師(2014)22號)

何雅琴(1981-)，女，江蘇常州人，碩士，講師，主要研究方向：計算機網絡、人工智能。

Tel.13585343230; E-mail:winny_114@126.com

TN 86； TM 919

A

1006-7167(2017)04-0060-04