聲表面波濾波器的叉指換能器技術演進概述

摘 要：聲表面波（SAW）濾波器因具有帶外抑制性好、體積小等特點，廣泛應用于移動通信領域。文章首先介紹了SAW濾波器的工作原理；然后從專利申請角度對國內外SAW濾波器發展狀況進行梳理；隨后從SAW濾波器的叉指換能器電極結構對SAW濾波器中的關鍵技術進行了分析；最后，對SAW濾波器的發展進行了總結。

關鍵詞：聲表面波；濾波器；叉指換能器

引言

聲表面波是一種沿物體表面傳播的彈性波， SAW技術在雷達、廣播電視等領域獲得廣泛應用[1]。然后隨著移動通信飛速發展，SAW器件的需求急劇增長，聲表面波技術越來越得到重視。隨著制造技術的發展，SAW器件性能的優越性越來越凸顯，因其頻率響應平坦、體積小等優點而得到廣泛的應用[2]，隨著SAW濾波器的廣泛應用，對其性能要求也越來越高，由此使SAW濾波器技術迅猛發展。

1 SAW濾波器國內外的發展狀況

作者對歷年來SAW濾波器的國內外專利申請進行了梳理，如圖1所示。從全球專利申請量來看，在20世紀80年代中后期，由于電視、衛星通信的發展，SAW濾波器技術隨之發展，出現了第一次專利申請峰值；隨后在90年代中后期，隨著移動通信的發展，SAW濾波器因其體積小、損耗低被大量應用于手機等通訊設備中，其專利申請量出現第二次峰值，但隨著SAW濾波器技術的日趨完善，全球SAW濾波器的相關專利申請從2005年左右開始有下降趨勢。

從國內專利申請量來看，國內SAW濾波器技術從上世紀90年代開始發展，在20世紀末到21世紀初，SAW濾波器技術在國內開始迅速發展，但由于國內整體起步較晚，技術發展相對較慢，因此近年來在SAW濾波器技術方面的國內專利申請量依然保持平穩發展態勢。……