激光微孔加工技術及應用*

（哈爾濱工業大學機電工程學院，哈爾濱150001）

我國經濟經歷了數10年高速發展后，正努力從制造大國向制造強國轉變，不能僅靠低端的制造技術以及大量的人力物力，一定要大力發展高端制造業。激光制造技術不僅能夠極大地提高生產效率而且綠色環保，能夠進行大量的精密加工制造。

自從人們提出先進制造技術以來，激光微孔加工技術發展極為迅速，一方面激光技術的快速發展促進了超短脈沖激光在微孔加工中的應用，如皮秒、飛秒激光器的出現，大大提高了激光微孔加工的精度，同時減小了激光加工后材料的熱影響區，特別是飛秒激光器技術的發展，為微孔加工提供了新的工業應用選擇；另一方面，新型工藝技術的發展為激光微孔加工技術提供了新的思路，如激光與水射流復合去除技術即水導激光微細加工技術，由于具有加工后不存在熱影響區，排熔渣更干凈，加工更大的深度以及精度高、成本低等優點[1-3]，被廣泛應用在微孔的精密加工領域。這些精密微孔加工技術引起了各國研究者的極大關注，在不遠的將來一定會在我國國防、航空航天等領域發揮無可替代的作用。

飛秒激光微孔加工

飛秒激光具有超快、高峰值功率的特性，幾乎可以加工所有材料[4]，飛秒激光與材料的相互作用按照材料屬性可以分為其與金屬材料的相互作用和與非金屬材料的相互作用：當飛秒激光照射到金屬材料表面時，金屬中……