論半導體高新科技工廠設備管道安裝要點

李曉蒙 趙錚 陳鳳

摘 ?要：工業創新和發展離不開對專業技術的深究，工業設備中的一個小小的零件都會影響生產制造。在工業領域中，為了防止與空氣接觸產生化學反應，管道通常被用于提供運輸各種高易燃易爆物質，如果管道設計與安裝出現問題，勢必會影響工業生產，甚至造成安全事故。因此，在對工業管道進行安裝前，必須先了解該行業的基礎原理，諸如半導體材料在提煉過程中具有高溫、切割、分離和拋光等工藝，會涉及易燃、劇毒、強腐蝕等氣體，這些危化氣體是制造精密半導體電子元器件、新能源光電產品必不可少的原料，為了確保管道中的材料在運輸過程中對管道性能不會造成較大影響或使管道遭到破壞，以及在生產中發生氣體泄漏，引發嚴重事故，在設備管道施工時，必須嚴格執行專項施工方案要求，以此確保順利完成設備管道安裝。

關鍵詞：工程;設備管道;安裝;技術

引言

在目前的世界范圍中，半導體產業已經成為最支柱、最重要的產業之一，通常認為集成電路制造是整個半導體工業發展的核心，其發展在世界的各個不同產業范疇中都設計并得到應用，其對各個領域的技術的前進和整個世界的經濟發展有推動作用，無論發達國家還是發展中國家都把半導體工業看成戰略性支柱產業，其半導體制造科技水平的進步以及產業規模的發展程度已成為一個用于衡量國家科學技術、經濟發展程度和國防軟硬件實力的重要指標。在這樣的大環境下，各個政府都投入大量的財力和人力，以求促進自己國家的半導體產業良性發展。我國在這方面也沒有逆世界潮流，同樣頒布了大量的優惠政策，集中有限的財力，向半導體產業傾斜，并盡力讓傳統產業在應用半導體技術為基礎的電子信息技術上不斷改造，不斷發展，最終促使國民經濟能夠更好的發展下去。在半導體產業中的半導體集成電路制造工廠的非常重要的基礎，它通過各種先進的半導體制造設備生產著各種集成電路芯片，這些芯片對國家經濟的發展，對人民生活水平的進步，有著重要的作用，所以全力的保證半導體制造設備的正常生產和運營是一件有意義的事情。

1螺柱焊接質量監測系統應實現以下功能

監測系統實現的功能較多，重點突出以下六大功能的實現。功能一：正確識別各車型，將車型在顯示屏進行目視化展示;功能二：系統對出現焊接質量不合格的螺柱進行目視化，不但要顯示螺柱型號，還需要顯示螺柱編號及在車身中的具體位置;功能三：采用人機界面對相應的車型、螺柱信息和位置進行提示;功能四：可以對螺柱焊接質量不合格信息進行統計分析查詢;功能五：對焊接異常的報警螺柱進行人工復檢，如確認存在質量缺陷將重新進行焊接。

2半導體高新科技工廠設備管道安裝要點

2.1狀態維護的工作流程

狀態維護對于有一些設備，或者是某些設備的部件，這種設備（部件）非常的關鍵，一旦其運行狀態發生問題，生產將無法繼續，這些設備（部件）是無法替代的，故要求這種設備（部件）盡可能的減少維護次數，只在需要維護時維護檢修，故無法對其制定定期的維護檢修計劃，這時可以根據經常檢查設備的運行狀態，運行參數，進行判斷，根據這些狀態參數判斷設備的性能趨勢，來決定是否需要進行停機維護檢修。

2.2管道安裝工藝

半導體工廠設備管道安裝會受到管道材料配方、生產現場條件等因素的影響，在安裝時要符合生產標準，不同的安裝工藝應達到不同的標準，并根據管道布置結構機理和輸送介質，嚴格按照專項施工方案執行安裝程序。1）管道預制與組裝為了提高管道安裝質量，應盡可能在車間分段預制管道。保證管道組裝件的剛性達到標準要求，以免在管道分段組裝時損害管道質量，產生永久變形。管道組件尺寸應在可控偏差范圍內。同時，管道組裝件要有活口預留，以便在管道組裝時可對管段連接進行調整，并保證其運輸和安裝便利。對預制組裝完成的管段應及時編號，并妥善保存。2）管道及其附件檢查管道安裝前，應對管道組成件、閥門等進行檢驗，包括管子及接頭、異徑管、三通、法蘭、補償器的質量檢查，以及閥門的閥體、密封面的試驗。閥門試驗介質采用潔凈水，殼體試驗壓力應在公稱壓力的1.5倍或以上，試驗要保持殼體填料5min以上無滲漏，閥瓣密封面無滲漏即達到密封試驗合格要求。3）管道加工（1）該道施工工序技術的關鍵點在于管口的加工，由于半導體工藝對作業環境要求較高，管道加工作業的環境要保持潔凈。（2）彎管采用冷彎，不應采取熱處理方式對彎后管道進行加工。通常情況下，彎管彎曲后應禁止回彎，其彎曲半徑為管子4倍的公稱直徑，并要確保彎曲度公差值在規定范圍內，一般在±0.5°以下。（3）管道切割要采用專用的不銹鋼切割器，為了避免切屑進入管內，在切割時要緩慢進行，順著介質下流的方向沖入高純氮氣。切割后進行斷面處理，采用平口機除去毛刺。在處理的同時用高純氮氣吹掃，用無塵布沾異丙醇在切割和斷面處理完成后擦拭干凈管口，避免無塵布反復使用。

2.3車身下表面區域螺柱檢測系統運轉流程

車身下表面區域螺柱焊工位是由V01面夾具組和V02面夾具組在一個180度翻轉的大型轉鼓上，本工位只有一個“RFID讀取命令”，位置在工位下面。當第一臺車身進入地面PLC1螺柱焊工位后，PLC通過“RFID讀取命令”載碼體中的信息后將數據存儲在PLC的DB數據塊中，這個DB數據塊是V02面夾具組單獨使用，以下簡稱DB_V02。載碼體數據成功讀取車型后，工位轉鼓進行180度旋轉，這時V02面夾具組在工位上面，V01夾具組在工位下面，機器人進入V02面夾具組進行螺柱焊接并且將焊接質量不合格螺柱信息寫入DB_V02數據塊。

結語

綜上所述，工業設備管道作為工業生產中經常用到的設備部件，對其安裝必須遵守行業管道安裝規范，對安裝過程中的安全隱患要做到防患于未然，強化施工工藝，制定專項施工方案，這樣才能達到質量標準要求。本文分別從半導體高新科技工廠設備與管道兩個部分的安裝工藝進行了詳述，基于半導體工藝對作業環境和操作的高要求，總結出在管道施工時，應維護施工作業環境，加強對管道管材的管理，以及管道加工、焊接、管道與配件及設備連接安裝等質量控制，嚴格按照施工方案進行設備管道安裝，并以先進的技術和專業的態度對待管道安裝，從而確保設備管道工程順利完工，確保設備安全運行。

參考文獻

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