納米氧化鎢氣敏傳感器研究進展

楊 帆尹桂林,葛美英何丹農,

（1.上海交通大學 材料科學與工程學院，上海 200240；2.納米技術及應用國家工程研究中心，上海 200241）

納米氧化鎢氣敏傳感器研究進展

楊 帆1尹桂林1,2葛美英2何丹農1,2

（1.上海交通大學 材料科學與工程學院，上海 200240；2.納米技術及應用國家工程研究中心，上海 200241）

在對各種有害氣體檢測的研究領域內，納米半導體金屬氧化物氣敏傳感器有著十分重要的地位。作為一種n型半導體金屬氧化物，氧化鎢因其獨有的結構和性能特點，成為近年來氣敏材料的研究重點和熱點。本文簡單介紹氧化鎢系氣敏材料的氣敏響應機理，總結近年來改良和提高納米氧化鎢材料氣敏性能的主要工藝和方向，最后指出其自身的不足及未來的研究發展方向。

納米材料 氧化鎢 氣敏傳感器

引言

在工業生產和環境監測領域，由于人們對生產和檢測要求不斷提高，使得對有害有毒等大氣污染物氣體的檢測有了長足的進展。氣敏傳感器作為氣體檢測的重要工具，在工作生活中的各個領域都有廣泛應用，為人類生活生產活動提供了重要保障。

氣敏傳感器是利用電化學方法、光學方法、電學方法等檢測手段，檢測目標氣體的傳感器[1]。其中，半導體金屬氧化物氣敏傳感器通過氣敏元件與目標氣體發生表面吸附或反應引起的以載流子運動為特征的伏安特性、電導率和表面點位變化來檢測目標氣體。半導體納米金屬氧化物氣敏傳感器在半導體金屬氧化物傳感器領域是一個研究重點，因為半導體納米金屬氧化物傳感器有其獨特的優點。……