中微MOCVD設(shè)備獲眾多客戶認(rèn)可，全面進(jìn)入主流LED大生產(chǎn)線

中微MOCVD設(shè)備獲眾多客戶認(rèn)可，全面進(jìn)入主流LED大生產(chǎn)線

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微”）自主研發(fā)制造的MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?，是在國(guó)內(nèi)幾十家設(shè)備公司和研究所為開(kāi)發(fā)MOCVD設(shè)備所做的多年努力中，唯一一個(gè)成功進(jìn)入多個(gè)生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，能和國(guó)際一流設(shè)備正面競(jìng)爭(zhēng)的設(shè)備。

在政府和產(chǎn)業(yè)界多年的努力推動(dòng)下，我國(guó)已成為國(guó)際LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快，規(guī)模最大的地區(qū)。但在過(guò)去幾年，受一些地方政府過(guò)度的補(bǔ)貼政策影響，許多LED生產(chǎn)企業(yè)大量購(gòu)置進(jìn)口的MOCVD設(shè)備，加之LED產(chǎn)業(yè)自身的大幅波動(dòng)，導(dǎo)致行業(yè)陷入LED產(chǎn)能過(guò)剩、MOCVD設(shè)備供過(guò)于求的困境。中微的MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?自2013年正式發(fā)布以來(lái)，突破重重障礙和困難，經(jīng)過(guò)兩年多的不懈努力，中微的MOCVD設(shè)備在多個(gè)國(guó)內(nèi)先進(jìn)的LED生產(chǎn)線上表現(xiàn)出了優(yōu)異的性能，穩(wěn)定的器件良率和較高的生產(chǎn)效率，證明能連續(xù)加工120 到150批次，已達(dá)到足以媲美國(guó)際市場(chǎng)上同類產(chǎn)品的世界先進(jìn)水平，在一些設(shè)計(jì)上和部分指標(biāo)上甚至優(yōu)于國(guó)際同類產(chǎn)品。中微的MOCVD設(shè)備得到了國(guó)內(nèi)外眾多LED領(lǐng)先廠商的廣泛認(rèn)可，目前已經(jīng)全面進(jìn)入主流LED大生產(chǎn)線，開(kāi)啟了MOCVD國(guó)產(chǎn)化大門。

MOCVD的國(guó)產(chǎn)化和國(guó)產(chǎn)MOCVD被LED生產(chǎn)企業(yè)廣泛采用，是我國(guó)成為第三代半導(dǎo)體器件產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國(guó)的必由之路，中微始終將MOCVD國(guó)產(chǎn)化視為己任。中微MOCVD設(shè)備從無(wú)到有的突破，且一舉達(dá)到國(guó)際前沿技術(shù)水平，充分證明了我國(guó)的設(shè)備制造企業(yè)完全有能力完成MOCVD國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略中自己應(yīng)當(dāng)承擔(dān)的那部分任務(wù)。

截至2016年6月底，中微已運(yùn)出15臺(tái)Prismo D-Blue？MOCVD反應(yīng)腔，進(jìn)入多家主要的LED或功率器件生產(chǎn)企業(yè)，其中的絕大多數(shù)已經(jīng)通過(guò)驗(yàn)證測(cè)試并進(jìn)入大生產(chǎn)線及確認(rèn)銷售，并已高質(zhì)量地加工了40多萬(wàn)片外延片。中微在第一代MOCVD研制和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，為順應(yīng)市場(chǎng)新的需求而開(kāi)發(fā)的第二代MOCVD設(shè)備（大托盤）也已取得初步成果，首臺(tái)已在7月付運(yùn)客戶。中微強(qiáng)勁的發(fā)展勢(shì)頭進(jìn)一步鞏固并加強(qiáng)了中微作為國(guó)內(nèi)MOCVD設(shè)備生產(chǎn)商的領(lǐng)先地位，同時(shí)也體現(xiàn)了Prismo D-Blue?較強(qiáng)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

在創(chuàng)新性保護(hù)方面，中微MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?目前已申請(qǐng)了200多項(xiàng)專利，其中國(guó)外專利占比一半以上，對(duì)中微多個(gè)獨(dú)特的創(chuàng)新和設(shè)計(jì)形成了有效的知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)。此外，它還遵循了半導(dǎo)體制造規(guī)則并完全符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。