應(yīng)用材料公司推出下一代電子束檢測(cè)設(shè)備具有業(yè)內(nèi)最高的分辨率

應(yīng)用材料公司推出下一代電子束檢測(cè)設(shè)備具有業(yè)內(nèi)最高的分辨率

應(yīng)用材料公司日前宣布其下一代電子束檢測(cè)系統(tǒng)已在多家領(lǐng)先的晶圓代工廠，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠得到廣泛應(yīng)用。隨著客戶逐漸轉(zhuǎn)向更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)，這款新一代電子束檢測(cè)系統(tǒng)能夠?yàn)槠涮峁┳罡叩姆直媛屎蛨D像質(zhì)量，同時(shí)保持最快的檢測(cè)速度。

應(yīng)用材料公司新的PROVisionTM系統(tǒng)是目前業(yè)界最先進(jìn)的電子束檢測(cè)工具，結(jié)合了應(yīng)用材料公司在電子束復(fù)查和測(cè)量領(lǐng)域長(zhǎng)達(dá)20多年的領(lǐng)先經(jīng)驗(yàn)和最新創(chuàng)新成果。作為唯一的電子束熱點(diǎn)檢測(cè)工具，該系統(tǒng)提供精確到1 nm的分辨率，使客戶能夠準(zhǔn)確檢測(cè)出其他技術(shù)無(wú)法識(shí)別的“致命”缺陷，同時(shí)監(jiān)測(cè)工藝窗口邊緣情況，從而迅速解決進(jìn)入產(chǎn)量的問題，顯著提高良率。

“PROVision系統(tǒng)是我們先進(jìn)電子束檢測(cè)技術(shù)產(chǎn)品目錄中的又一新產(chǎn)品，同時(shí)也是應(yīng)用材料公司發(fā)展戰(zhàn)略中的一個(gè)重要組成部分。”應(yīng)用材料公司副總裁兼成像和工藝測(cè)控部門總經(jīng)理Bob Perlmutter表示：“我們與眾不同的電子束技術(shù)在行業(yè)中處于領(lǐng)先地位，通過結(jié)合客戶的最新檢測(cè)方法，使PROVision系統(tǒng)不僅可以應(yīng)用于研發(fā)階段，而且還可以使用于實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中。”

目前，PROVision系統(tǒng)已獲得良好的市場(chǎng)反響，已發(fā)貨十余臺(tái)，其中包括來自一家領(lǐng)先的代工廠商和一家主要的存儲(chǔ)器制造商的重復(fù)訂單。2016年下半年預(yù)計(jì)還將有多臺(tái)設(shè)備銷售給現(xiàn)有客戶和新客戶。

與現(xiàn)有的電子束熱點(diǎn)檢測(cè)工具相比，PROVision系統(tǒng)可使檢測(cè)速度提高3倍，確保在整個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)周期中對(duì)影響性能和良率的缺陷進(jìn)行準(zhǔn)確的表征、預(yù)判和識(shí)別，從而進(jìn)一步充實(shí)了應(yīng)用材料公司現(xiàn)有的電子束復(fù)查、量測(cè)產(chǎn)品線和光學(xué)的帶圖型的晶片檢測(cè)產(chǎn)品線。