高品質(zhì)汽車測(cè)試套件的細(xì)胞感知經(jīng)驗(yàn)

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高品質(zhì)汽車測(cè)試套件的細(xì)胞感知經(jīng)驗(yàn)

介紹一種基于CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）來提高高品質(zhì)汽車設(shè)計(jì)中整體缺陷覆蓋率的方法，給出具有216個(gè)高電壓閥值細(xì)胞的細(xì)胞感知結(jié)果流，并通過對(duì)數(shù)百萬(wàn)個(gè)零部件進(jìn)行測(cè)試，獲得了130nm制造工藝（集成電路的一種高技術(shù)制造工藝）的模式生成流和大生產(chǎn)測(cè)試結(jié)果。細(xì)胞感知（CA）測(cè)試是檢測(cè)細(xì)胞內(nèi)橋、開路、耗散及高阻性晶體管缺陷，是現(xiàn)有測(cè)試方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。

本研究針對(duì)130nm制造工藝的產(chǎn)品測(cè)試，對(duì)CA、停滯（stuckat, SA）和過渡延遲（transition delay, TR）3種測(cè)試方法進(jìn)行比較，驗(yàn)證了3種方法對(duì)該工藝的有效性，并分析了3種測(cè)試方法的缺陷覆蓋率。研究發(fā)現(xiàn)，CA測(cè)試相比SA和TR測(cè)試，缺陷覆蓋率分別擴(kuò)展0.63%和3.83%。研究得出，不同細(xì)胞結(jié)構(gòu)的缺陷覆蓋率擴(kuò)展程度不同，介紹了對(duì)新增缺陷覆蓋率貢獻(xiàn)最大的3種細(xì)胞結(jié)構(gòu)，新增缺陷只能通過CA測(cè)試方法檢測(cè)。

研究表明，CA測(cè)試方法更適用于高品質(zhì)汽車的設(shè)計(jì)。在汽車設(shè)計(jì)中，由于零百萬(wàn)分率策略是首要追求目標(biāo)，不能做出任何質(zhì)量方面的妥協(xié)，因此分析整體缺陷率十分重要。

在130nm制造工藝中，CA方法在第1次晶圓測(cè)試試驗(yàn)中檢測(cè)出多個(gè)CA缺陷部件，在不同溫度的第2次晶圓測(cè)試中，仍能檢測(cè)出一些特殊CA缺陷部件。

CA測(cè)試方法是當(dāng)前停滯與過渡延遲測(cè)試方法的一種擴(kuò)展，有望通過提高細(xì)胞感知測(cè)試檢CA測(cè)質(zhì)量而取消當(dāng)前的停滯與過渡延遲測(cè)試。

F.Hapke et al.19th IEEE European Test Symposium (ETS),2014.

編譯：王迪