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研究人員用電子束“雕”出精細(xì)三維結(jié)構(gòu)

2015-04-29 00:00:00
科學(xué)導(dǎo)報 2015年82期

最近,美國能源部橡樹嶺國家實驗室研究人員開發(fā)出一種獨(dú)特的、制作三維結(jié)構(gòu)的方法,用掃描透射電子顯微鏡發(fā)出的電子束做“雕刻刀”,做出的三維結(jié)構(gòu)不僅有精細(xì)可控的形狀,而且大小只有幾納米。

雕刻結(jié)構(gòu)以一種完美的、晶體排列的形式向外生長而成,保證了整個材料有著一致的電子和機(jī)械性質(zhì)。由于雕刻品的精細(xì)程度達(dá)到單個原子水平,這一技術(shù)在制作微芯片等功能性納米設(shè)備方面極為有用。研究負(fù)責(zé)人阿爾賓娜·玻利謝維奇說,這種方法能讓他們以更高精度做出更小的結(jié)構(gòu),更主動地控制材料性質(zhì)。常麗君

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