張美玲,尹 姣,張永玲,王艷雙,曲春陽,趙 丹,王 菲
(吉林大學a.集成光電子學國家重點聯合實驗室;b.吉林省光通信用聚合物波導器件工程實驗室;c.電子科學與工程學院,長春130012)
鑭系元素摻雜的材料,具有顯著的發光性能,已經被廣泛應用于光學器件中[1-3]。其中鑭系元素中Er3+的能級4I13/2→4I15/2的躍遷所對應的波長(1.53 μm)恰好與光纖低損耗窗口相匹配,因此受到越來越多的關注[4,5]。目前,摻鉺光纖放大器(EDFA:Erbium Doped Fiber Amplifier)已經在長距離通信系統中實現了商用化。EDFA中的光纖長度一般為幾米至幾十米,這在長途干線網和城域網等長距離通信系統中應用毫無問題,但因在平面光子集成中EDFA無法應用,使其應用范圍受到局限。近年來,越來越多的科研工作者致力于EDWA的研究[6,7]。它是摻鉺光纖放大器的微型化產物,是集成光路產業發展的重要成果。它具有結構緊湊,易于與其他光波導器件(如光開關、分束器、延遲線)集成等優點[8-12]。無機基質EDWA已有商品化器件,但制備工藝復雜,設備昂貴,且不易于與硅基光子器件集成。硅基聚合物EDWA與其相比,具有價格低廉、制備工藝簡單、折射率易調節和易于集成(尤其是與硅基聚合物光波導器件集成)等優點,在平面光子集成方面具有良好的應用前景[13-15]。目前,國際上對聚合物EDWA的研究仍處于基礎階段。文獻[16]最早報道使用有機無機雜化材料制作光波導放大器,在工作波長1 550 nm下,獲得了0.55 dB的相對增益。Wong等[17]制備了Er3+-Yb3+共摻的SU-82000光波導放大器,在18 mm長的多模波導中獲得13 dB的小信號相對增益。……