FFU在潔凈室中的應用

摘 要：本文就FFU的性能特點、控制方法及其在潔凈室中的使用進行了詳細論述，并針對FFU在使用中的關鍵問題作了計算及探討。通過本文的一些數據及觀點，希望能為廣大潔凈室設計者及使用者提供一些有益的參考。

關鍵詞：FFU；風量-風壓曲線；噪聲；控制系統

中圖分類號：TM715 文獻標識碼：A 文章編號：1674-7712 （2014） 14-0000-04

一、概述

隨著微電子技術的迅猛發展和規模的不斷擴大，生產工藝對潔凈室的設計、建造、運行和維護也提出了越來越高的要求。與此同時，目前的能源價格與前幾年相比幾乎是翻了一翻。作為一個高能耗的行業，節能正成為設計者和使用者都必須面對的一個共同的課題。

傳統的工業潔凈室是采用室外的新風、回風空調機組加室內的高效過濾器送風口組成整體的氣流循環系統。這種系統的循環風量巨大，空調機組和送、回風管道投資和建設工作量也很大，且無法做到靈活調節，存在一些弊端。

在這種情況下，風機過濾單元（Fan Filter Unit），簡稱FFU，作為一種局部凈化設備，以其安裝簡便、調節靈活、節約能耗等諸多優點，正越來越得到市場的青睞，在電子行業潔凈室中，FFU的用量正逐步擴大。

目前中國潔凈技術市場空間正越來越增大，根據業界的統計數據，中國每年160億潔凈室市場份額中，電子信息產業有50億。而美國潔凈室面積有250萬平方米，僅2006年新建潔凈室就有33萬平方米。如此巨大的市場，給FFU的使用帶來了廣闊的空間。國內投資的廠商中，中芯國際、LG、日月光、方正微電子等都在新建工程中大量使用了FFU。

二、FFU的性能

（一）FFU的安裝形式

（三）縮短建設周期

在傳統潔凈室的建設中，風管及空調機組的安裝需投入很大的工作量，而使用FFU的系統只需安裝少量的新風機組及風管后，將以加工好的FFU拼裝到潔凈室的天花龍骨上，就可以完成潔凈室的建造。大大縮短了建設周期，節約了建造成本。

1.節約能源，降低運行成本

FFU本身靈活的控制系統使得用戶可以配合生產狀況和HEPA的使用情況將FFU設定在合適的轉速運行，在夜間或不生產時甚至可以將部分機組停止，只保留少部分低速運行以保證必要的潔凈度即可。潔凈室制造商Clean Rooms International公司副總裁兼工程總監Keith Weber說：“在需要時以最大功率或者接近最大功率的狀態運行FFU，而在不需要時把它們關掉，這樣做不僅可以節約電力，還可以延長過濾器的使用壽命。”

2.保證系統的穩定運行

FFU系統由成百上千臺小型風機同時運轉來達到原先一臺大型風機所能起的作用。對于使用傳統單臺大型風機的空調機組來說，一臺風機出問題，整個潔凈室系統就垮了，而使用FFU系統，即使某一臺或幾臺FFU出現故障，用戶也可以從容處理，而不必擔心因此會影響整個潔凈室的正常工作。

五、結束語

綜上所述，FFU系統所具備的優點正使它越來越得到廣大用戶的認可，同時，FFU制造商所進行的技術改進、技術創新、技術研發工作，也使得FFU系統能不斷滿足更多用戶更個性化的要求。隨著微電子技術的飛速發展和更新換代的逐步加快，FFU也將以其自身的獨特優勢贏得市場。

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[作者簡介]陳玲（1973.07-），現任美埃（中國）環境凈化技術有限公司技術總監。1995年畢業于南京工業大學化工機械與設備系，本科，學士學位。1995-2003年就職于南京化纖股份有限公司，歷任短纖分廠設備工程師、車間副主任。2004年加入LG化學（南京）信息電子材料有限公司，擔任設施與環境TEAM設備PART主管。2005年加入美埃，歷任產品工程師、開發部經理、廠長、技術總監職務。在19年的職業生涯里，一直從事技術、研發、生產運營管理工作，有豐富的多行業工作經驗和廣闊的技術視野，在專業CLEANROOM和商用、家用場所IAQ領域均有多年的實戰經驗。獲得人事部頒發的工程師證書（2001）、中國電子學會潔凈技術分會（CCCS）頒發的潔凈室工程師認證證書（2007），Chinese Contamination Control Society，CCCS頒發的潔凈室工程師國際互認證書（2009），復旦大學運營總監研修課程，并獲得優秀學員稱號。