等離子噴涂承燒板的生產工藝研究

邱衍嵩

摘 要：本文介紹了一種用于鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）承燒的等離子噴涂承燒板，并詳細介紹了該產品生產的工藝過程，以及闡述了這種等離子噴涂承燒板性能、應用及市場化情況。

關鍵詞：等離子噴涂；承燒板；剛玉-莫來石；釔穩定氧化鋯；研究

1 引言

等離子噴涂承燒板主要包括中間夾層剛玉-莫來石基板、兩面氧化鋯熔敷涂層，其氧化鋯涂層是采用大氣等離子噴涂(APS)技術制備的，一般應用在鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）排膠和燒結等工藝上，其目的是在高溫條件下，承燒鎳電極片式疊層陶瓷電容器的生胚。

由于鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）的燒結溫度一般達到1200℃以上，被承燒產品是疊層承燒，每層承燒板加產品重量約0.7kg，一般疊10～12層左右，而承燒板最大可能承受約10kg的壓力。同時，承燒板除要承受移動時的推力和裝卸產品時的摩擦力外，還要經受多次冷熱循環，所以其使用環境非常惡劣。因此，我們對承燒板的性能要求較高，一般要求承燒板在不發生斷裂及嚴重變形的情況下，氧化鋯涂層堅固，化學穩定性極好，不與所承燒產品發生反應。

承燒板行業是技術密集型行業，由于針對不同的客戶需求，其生產工藝不同，導致每個客戶使用條件不同，對承燒板的規格和性能有不同要求，需要有針對性去開發相應配方和模具，并且還需要客戶試用合格后才能進行技術定型和批量生產。

目前，用于承燒鎳電極片式疊層陶瓷電容器的復合承燒板，大部分依靠進口，但其價格昂貴，成本較高，因此，阻礙了行業的正常發展。國外類似承燒板的生產廠家主要有：住友化工、三井金屬礦業、covalent大阪窯業等。

廣東羚光新材料股份有限公司開展承燒板專項研究，研究了顆粒組成、結合劑種類及含量對剛玉-莫來石質承燒板熱震穩定性的影響。目前，在技術上已取一定的突破，如：研制出了高溫、高強度的剛玉-莫來石復合承燒板，在1100℃水冷循環的熱震次數超過5次不斷。經國內某廠家試用 ,其壽命達到其要求。目前，生產的等離子噴涂承燒板已經大批量投放市場，并被一些上市公司及大型外資企業等采用。

2 等離子承燒板的制備材料

等離子承燒板的制備對原材料要求較高，國產的材料存在規模偏小、粉體粒度大小不同、雜質含量較多，以及批量不一致等問題。為了獲得合適的原材料，首先要對原材料進行理化性能測試分析和工藝對比試驗。經過反復試驗，找出材料在主要成份和雜質控制方面的問題，以便對原材料供應商進行管理，并提出技術改造方案，促使材料廠家按照筆者公司技術要求進行改進。從而獲得在工藝上穩定、產品一致性好，且價格合理的原材料。

由于原材料生產工藝的原因，導致所購買的原材料或多或少都含有鐵磁性物質，因此，需要利用磁選機嚴格控制和檢驗粉料的含鐵量。

材料粒度組成從40目到400目不等，需要按配方要求進行配比。

等離子承燒板的主要原材料有白剛玉、莫來石、氧化鋁微粉、氧化釔穩定氧化鋯噴涂粉等，其化學組成如表1所示。

3 等離子噴涂承燒板的工藝流程

復合承燒板的生產工藝流程分為兩個階段：基板制備流程和涂層制備流程。主要生產設備有球磨機、振動磨、振動篩、磁選機、混砂機、高溫遂道爐、液壓機、等離子噴涂設備等。

3.1基板的制備

等離子噴涂承燒板的基板的工藝流程如圖1所示。

3.1.1配料及混料

首先，根據配方的組成及含量進行配料，并加入一定量的添加劑；然后，進行混料（混料采用半干法混料，混料設備為混砂機。混料的粘合劑有工業純聚乙烯醇、工業純甲基纖維素等。）；其次，控制攪拌時間，水份含量一般控制在1.5%~3.0%，并進行人工造粒和困料；最后，將獲得物料均勻、流動性好的陶瓷泥料，備用。

3.1.2成型

陶瓷成型有干壓法和熱壓鑄法、軋膜法等多種成型方法，本文主要采用干壓法成型制備復合承燒板，設備為四柱液壓機。干壓法成型對粉體的流動性、粒度分布以及密度的要求較高，并且泥料水分含量要低。

干壓成型技術是實現本產品產業化的關鍵技術之一，決定了陶瓷坯片質量和生產效率的高低能否滿足工業化生產的要求。因此，干壓成型技術中組合模具的設計和制造顯得尤為重要。經過不斷研究、試驗，發現固定式模架結構，只能提供單面加壓，且更換煩瑣，難以應付生產不同規格生產的需要。經試驗研究對比，發現采用浮動式模架結構后，更換容易，并可滿足多種規格生產的需要。同時，采用浮動式結構實現了雙面加壓。通過上述方法壓制獲得的產品，其精度和壓強都得到了提高，壓強由140MPa升到160MPa，精度從±0.25mm升到±0.15mm，使產品毛坯密度提升，減少了由于密度低、布料不均勻而引起的質量問題。

3.1.3生坯干燥

干燥的目的是為了減少生坯進爐排膠前的水分，降低產品開裂率。由于生坯本身水分含量比較低，本文采用自然干燥法干燥生坯，既節約能源，簡化工序，又達到了毛坯脫水干燥過程中基本平整不變形，且不損傷坯片表面質量，并可疊層燒成，疊層數量一次可以達到20～30片。

3.1.4燒成

陶瓷承燒板的燒成與其它陶瓷燒成不同。試驗發現，使用平式裝板工藝，產品容易開裂、變形。此外，燒成后基片出現表面麻點、凹凸、嚴重翹曲變形，以及開裂等質量問題與燒結工藝有關；而裝載數量、燒結溫度曲線直接影響了產品的變形率和性能。

通過研究，針對不同形狀或規格的產品，按要求制定出合理的裝板方式和數量，并改進裝板工藝，選用適合的裝匣，每片坯片之間撒敷一薄層高純剛玉隔離砂，可以防止燒結后基片粘結，優化高溫遂道窯燒成不同產品的溫度曲線和推板速度，保證了產品的質量，有效地解決了開裂、變形等問題，提高了產品的合格率及效益，降低了生產成本。

3.1.5基板檢驗

基板的檢驗主要是剔除有斑點、開裂、缺損、彎曲即變形等不良剛玉-莫來石基板。

3.2涂層的制備

涂層制備工藝流程如圖2所示。

3.2.1基板刻沙

由于剛玉-莫來石基板表面比較光滑，不利于噴涂時上粉。因此，需要通過噴砂摩刻獲得粗造的表面，擴大比表面積，提高涂層與基體表面的結合力。

3.2.2基板表面噴涂

基板表面噴涂需要先干燥預處理噴涂氧化鋯粉和噴砂后的剛玉-莫來石基板；然后將噴涂氧化鋯粉放進專用設備的送粉裝置里，工作時把氧化鋯粉送到噴槍噴嘴中；將剛玉-莫來石基板裝夾在噴涂專用工作臺上；啟動專用等離子噴涂設備，把氣體送到噴槍中，點燃噴槍產生等離子焰流，開始對剛玉-莫來石基板進行熔射噴涂；噴完其中一面后再噴涂另一面，每一面涂層厚度≥0.12mm。

4 產品的質量檢驗與評價

產品主要質量檢測儀器有TZ型陶瓷吸水率測試儀、SKZ數顯式抗折儀、GH材料荷重軟化測試儀、超高溫臥式膨脹儀、電子顯微鏡、X-射線熒光光譜儀、游標卡尺、螺旋測微計等。

等離子噴涂承燒板的化學組成及物理特性如表2所示。

除上述測試與檢驗外，還會到客戶處定期抽樣檢驗。由于其使用壽命因客戶的燒成制度不同會有較大的差別，一般情況下循環使用次數不少于60次。否則，將被視為不合格。

5 產品的市場化情況

等離子噴涂承燒板是可以制作成各種形狀，主要有方形平板、扇形平板、平板帶有支撐腳、在平板上面帶有條狀或網狀溝槽，或者重疊平板之間夾有墊塊等，主要用于承燒鎳電極片式多層陶瓷電容器。圖3為筆者公司生產的有支撐腳方形平板、扇形平板等離子噴涂承燒板外觀示意圖。

等離子噴涂承燒板研發成功后，經國內多家MLCC生產廠家試用，使用效果與進口承燒板接近。從2006年后，該產品被大批量投入市場，目前已逐漸替代了部分進口等離子噴涂承燒板，并已占有穩定的市場份額。

6 總結

（1） 以電熔剛玉、電熔莫來石和釔穩定氧化鋯噴涂粉等為主要原材料，經過混料、干法成型、燒成和等離子噴涂等工序，可以獲得以剛玉-莫來石為基體復合釔穩定氧化鋯為涂層的等離子噴涂承燒板。它具有優良的高溫強度、抗蠕變性、抗熱震性和較高的使用溫度(最高1600℃)，表面涂層化學穩定性好，不易與燒成產品發生反應，能在較高的溫度下反復使用60次以上不開裂。同時，可以根據客戶要求，制作成各種形狀，特別適宜做燒成陶瓷電子元器件的承燒材料。

（2） 該產品投放市場以來，能滿足國內用戶要求，并可以替代同類進口等離子噴涂承燒板。

（3） 隨著節能降耗、環保，以及資源節約等要求的提高，陶瓷電子元器件對承燒板有了更高、更新的技術要求，等離子噴涂承燒板將向大規格超薄長壽命的方向發展。但是，與國際同行先進產品在使用壽命方面相比較，還存在一定的差距。因此，還需要對等離子噴涂承燒板繼續深入跟蹤研究，以適應技術發展潮流，縮小差距。

參考文獻

[1] 宋先剛，譚汝泉，彭文,等.剛玉_莫來石質承燒板的研制[J].佛

山陶瓷,2013(2)：23～25.

[2] 胡寶玉,徐延慶,張宏達.特種耐火材料實用技術手冊[M].北京：

冶金工業出版社,2004,6:16～61.

[3] 梁力平,賴永雄,李基森.片式疊層陶瓷電容器的制造與材料[M].

廣州：暨南大學出版社,2008,4:44～59.

[4] 周會俊,劉鵬,王龍光.高溫剛玉-莫來石棚板的生產與應用[J].

武漢科技大學學報,2008, 10:313～314.

[5] 程本軍,楊輝,王家邦,等.剛玉-莫來石推板的研制與應用[J].耐

火材料；2004，2：110～112.

[6] 李世普.特種陶瓷工藝學[M].武漢：武漢工業大學出版社,

1990,12：4～80

endprint

摘 要：本文介紹了一種用于鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）承燒的等離子噴涂承燒板，并詳細介紹了該產品生產的工藝過程，以及闡述了這種等離子噴涂承燒板性能、應用及市場化情況。

關鍵詞：等離子噴涂；承燒板；剛玉-莫來石；釔穩定氧化鋯；研究

1 引言

等離子噴涂承燒板主要包括中間夾層剛玉-莫來石基板、兩面氧化鋯熔敷涂層，其氧化鋯涂層是采用大氣等離子噴涂(APS)技術制備的，一般應用在鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）排膠和燒結等工藝上，其目的是在高溫條件下，承燒鎳電極片式疊層陶瓷電容器的生胚。

由于鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）的燒結溫度一般達到1200℃以上，被承燒產品是疊層承燒，每層承燒板加產品重量約0.7kg，一般疊10～12層左右，而承燒板最大可能承受約10kg的壓力。同時，承燒板除要承受移動時的推力和裝卸產品時的摩擦力外，還要經受多次冷熱循環，所以其使用環境非常惡劣。因此，我們對承燒板的性能要求較高，一般要求承燒板在不發生斷裂及嚴重變形的情況下，氧化鋯涂層堅固，化學穩定性極好，不與所承燒產品發生反應。

承燒板行業是技術密集型行業，由于針對不同的客戶需求，其生產工藝不同，導致每個客戶使用條件不同，對承燒板的規格和性能有不同要求，需要有針對性去開發相應配方和模具，并且還需要客戶試用合格后才能進行技術定型和批量生產。

目前，用于承燒鎳電極片式疊層陶瓷電容器的復合承燒板，大部分依靠進口，但其價格昂貴，成本較高，因此，阻礙了行業的正常發展。國外類似承燒板的生產廠家主要有：住友化工、三井金屬礦業、covalent大阪窯業等。

廣東羚光新材料股份有限公司開展承燒板專項研究，研究了顆粒組成、結合劑種類及含量對剛玉-莫來石質承燒板熱震穩定性的影響。目前，在技術上已取一定的突破，如：研制出了高溫、高強度的剛玉-莫來石復合承燒板，在1100℃水冷循環的熱震次數超過5次不斷。經國內某廠家試用 ,其壽命達到其要求。目前，生產的等離子噴涂承燒板已經大批量投放市場，并被一些上市公司及大型外資企業等采用。

2 等離子承燒板的制備材料

等離子承燒板的制備對原材料要求較高，國產的材料存在規模偏小、粉體粒度大小不同、雜質含量較多，以及批量不一致等問題。為了獲得合適的原材料，首先要對原材料進行理化性能測試分析和工藝對比試驗。經過反復試驗，找出材料在主要成份和雜質控制方面的問題，以便對原材料供應商進行管理，并提出技術改造方案，促使材料廠家按照筆者公司技術要求進行改進。從而獲得在工藝上穩定、產品一致性好，且價格合理的原材料。

由于原材料生產工藝的原因，導致所購買的原材料或多或少都含有鐵磁性物質，因此，需要利用磁選機嚴格控制和檢驗粉料的含鐵量。

材料粒度組成從40目到400目不等，需要按配方要求進行配比。

等離子承燒板的主要原材料有白剛玉、莫來石、氧化鋁微粉、氧化釔穩定氧化鋯噴涂粉等，其化學組成如表1所示。

3 等離子噴涂承燒板的工藝流程

復合承燒板的生產工藝流程分為兩個階段：基板制備流程和涂層制備流程。主要生產設備有球磨機、振動磨、振動篩、磁選機、混砂機、高溫遂道爐、液壓機、等離子噴涂設備等。

3.1基板的制備

等離子噴涂承燒板的基板的工藝流程如圖1所示。

3.1.1配料及混料

首先，根據配方的組成及含量進行配料，并加入一定量的添加劑；然后，進行混料（混料采用半干法混料，混料設備為混砂機。混料的粘合劑有工業純聚乙烯醇、工業純甲基纖維素等。）；其次，控制攪拌時間，水份含量一般控制在1.5%~3.0%，并進行人工造粒和困料；最后，將獲得物料均勻、流動性好的陶瓷泥料，備用。

3.1.2成型

陶瓷成型有干壓法和熱壓鑄法、軋膜法等多種成型方法，本文主要采用干壓法成型制備復合承燒板，設備為四柱液壓機。干壓法成型對粉體的流動性、粒度分布以及密度的要求較高，并且泥料水分含量要低。

干壓成型技術是實現本產品產業化的關鍵技術之一，決定了陶瓷坯片質量和生產效率的高低能否滿足工業化生產的要求。因此，干壓成型技術中組合模具的設計和制造顯得尤為重要。經過不斷研究、試驗，發現固定式模架結構，只能提供單面加壓，且更換煩瑣，難以應付生產不同規格生產的需要。經試驗研究對比，發現采用浮動式模架結構后，更換容易，并可滿足多種規格生產的需要。同時，采用浮動式結構實現了雙面加壓。通過上述方法壓制獲得的產品，其精度和壓強都得到了提高，壓強由140MPa升到160MPa，精度從±0.25mm升到±0.15mm，使產品毛坯密度提升，減少了由于密度低、布料不均勻而引起的質量問題。

3.1.3生坯干燥

干燥的目的是為了減少生坯進爐排膠前的水分，降低產品開裂率。由于生坯本身水分含量比較低，本文采用自然干燥法干燥生坯，既節約能源，簡化工序，又達到了毛坯脫水干燥過程中基本平整不變形，且不損傷坯片表面質量，并可疊層燒成，疊層數量一次可以達到20～30片。

3.1.4燒成

陶瓷承燒板的燒成與其它陶瓷燒成不同。試驗發現，使用平式裝板工藝，產品容易開裂、變形。此外，燒成后基片出現表面麻點、凹凸、嚴重翹曲變形，以及開裂等質量問題與燒結工藝有關；而裝載數量、燒結溫度曲線直接影響了產品的變形率和性能。

通過研究，針對不同形狀或規格的產品，按要求制定出合理的裝板方式和數量，并改進裝板工藝，選用適合的裝匣，每片坯片之間撒敷一薄層高純剛玉隔離砂，可以防止燒結后基片粘結，優化高溫遂道窯燒成不同產品的溫度曲線和推板速度，保證了產品的質量，有效地解決了開裂、變形等問題，提高了產品的合格率及效益，降低了生產成本。

3.1.5基板檢驗

基板的檢驗主要是剔除有斑點、開裂、缺損、彎曲即變形等不良剛玉-莫來石基板。

3.2涂層的制備

涂層制備工藝流程如圖2所示。

3.2.1基板刻沙

由于剛玉-莫來石基板表面比較光滑，不利于噴涂時上粉。因此，需要通過噴砂摩刻獲得粗造的表面，擴大比表面積，提高涂層與基體表面的結合力。

3.2.2基板表面噴涂

基板表面噴涂需要先干燥預處理噴涂氧化鋯粉和噴砂后的剛玉-莫來石基板；然后將噴涂氧化鋯粉放進專用設備的送粉裝置里，工作時把氧化鋯粉送到噴槍噴嘴中；將剛玉-莫來石基板裝夾在噴涂專用工作臺上；啟動專用等離子噴涂設備，把氣體送到噴槍中，點燃噴槍產生等離子焰流，開始對剛玉-莫來石基板進行熔射噴涂；噴完其中一面后再噴涂另一面，每一面涂層厚度≥0.12mm。

4 產品的質量檢驗與評價

產品主要質量檢測儀器有TZ型陶瓷吸水率測試儀、SKZ數顯式抗折儀、GH材料荷重軟化測試儀、超高溫臥式膨脹儀、電子顯微鏡、X-射線熒光光譜儀、游標卡尺、螺旋測微計等。

等離子噴涂承燒板的化學組成及物理特性如表2所示。

除上述測試與檢驗外，還會到客戶處定期抽樣檢驗。由于其使用壽命因客戶的燒成制度不同會有較大的差別，一般情況下循環使用次數不少于60次。否則，將被視為不合格。

5 產品的市場化情況

等離子噴涂承燒板是可以制作成各種形狀，主要有方形平板、扇形平板、平板帶有支撐腳、在平板上面帶有條狀或網狀溝槽，或者重疊平板之間夾有墊塊等，主要用于承燒鎳電極片式多層陶瓷電容器。圖3為筆者公司生產的有支撐腳方形平板、扇形平板等離子噴涂承燒板外觀示意圖。

等離子噴涂承燒板研發成功后，經國內多家MLCC生產廠家試用，使用效果與進口承燒板接近。從2006年后，該產品被大批量投入市場，目前已逐漸替代了部分進口等離子噴涂承燒板，并已占有穩定的市場份額。

6 總結

（1） 以電熔剛玉、電熔莫來石和釔穩定氧化鋯噴涂粉等為主要原材料，經過混料、干法成型、燒成和等離子噴涂等工序，可以獲得以剛玉-莫來石為基體復合釔穩定氧化鋯為涂層的等離子噴涂承燒板。它具有優良的高溫強度、抗蠕變性、抗熱震性和較高的使用溫度(最高1600℃)，表面涂層化學穩定性好，不易與燒成產品發生反應，能在較高的溫度下反復使用60次以上不開裂。同時，可以根據客戶要求，制作成各種形狀，特別適宜做燒成陶瓷電子元器件的承燒材料。

（2） 該產品投放市場以來，能滿足國內用戶要求，并可以替代同類進口等離子噴涂承燒板。

（3） 隨著節能降耗、環保，以及資源節約等要求的提高，陶瓷電子元器件對承燒板有了更高、更新的技術要求，等離子噴涂承燒板將向大規格超薄長壽命的方向發展。但是，與國際同行先進產品在使用壽命方面相比較，還存在一定的差距。因此，還需要對等離子噴涂承燒板繼續深入跟蹤研究，以適應技術發展潮流，縮小差距。

參考文獻

[1] 宋先剛，譚汝泉，彭文,等.剛玉_莫來石質承燒板的研制[J].佛

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[2] 胡寶玉,徐延慶,張宏達.特種耐火材料實用技術手冊[M].北京：

冶金工業出版社,2004,6:16～61.

[3] 梁力平,賴永雄,李基森.片式疊層陶瓷電容器的制造與材料[M].

廣州：暨南大學出版社,2008,4:44～59.

[4] 周會俊,劉鵬,王龍光.高溫剛玉-莫來石棚板的生產與應用[J].

武漢科技大學學報,2008, 10:313～314.

[5] 程本軍,楊輝,王家邦,等.剛玉-莫來石推板的研制與應用[J].耐

火材料；2004，2：110～112.

[6] 李世普.特種陶瓷工藝學[M].武漢：武漢工業大學出版社,

1990,12：4～80

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摘 要：本文介紹了一種用于鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）承燒的等離子噴涂承燒板，并詳細介紹了該產品生產的工藝過程，以及闡述了這種等離子噴涂承燒板性能、應用及市場化情況。

關鍵詞：等離子噴涂；承燒板；剛玉-莫來石；釔穩定氧化鋯；研究

1 引言

等離子噴涂承燒板主要包括中間夾層剛玉-莫來石基板、兩面氧化鋯熔敷涂層，其氧化鋯涂層是采用大氣等離子噴涂(APS)技術制備的，一般應用在鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）排膠和燒結等工藝上，其目的是在高溫條件下，承燒鎳電極片式疊層陶瓷電容器的生胚。

由于鎳電極片式疊層陶瓷電容器（MLCC）的燒結溫度一般達到1200℃以上，被承燒產品是疊層承燒，每層承燒板加產品重量約0.7kg，一般疊10～12層左右，而承燒板最大可能承受約10kg的壓力。同時，承燒板除要承受移動時的推力和裝卸產品時的摩擦力外，還要經受多次冷熱循環，所以其使用環境非常惡劣。因此，我們對承燒板的性能要求較高，一般要求承燒板在不發生斷裂及嚴重變形的情況下，氧化鋯涂層堅固，化學穩定性極好，不與所承燒產品發生反應。

承燒板行業是技術密集型行業，由于針對不同的客戶需求，其生產工藝不同，導致每個客戶使用條件不同，對承燒板的規格和性能有不同要求，需要有針對性去開發相應配方和模具，并且還需要客戶試用合格后才能進行技術定型和批量生產。

目前，用于承燒鎳電極片式疊層陶瓷電容器的復合承燒板，大部分依靠進口，但其價格昂貴，成本較高，因此，阻礙了行業的正常發展。國外類似承燒板的生產廠家主要有：住友化工、三井金屬礦業、covalent大阪窯業等。

廣東羚光新材料股份有限公司開展承燒板專項研究，研究了顆粒組成、結合劑種類及含量對剛玉-莫來石質承燒板熱震穩定性的影響。目前，在技術上已取一定的突破，如：研制出了高溫、高強度的剛玉-莫來石復合承燒板，在1100℃水冷循環的熱震次數超過5次不斷。經國內某廠家試用 ,其壽命達到其要求。目前，生產的等離子噴涂承燒板已經大批量投放市場，并被一些上市公司及大型外資企業等采用。

2 等離子承燒板的制備材料

等離子承燒板的制備對原材料要求較高，國產的材料存在規模偏小、粉體粒度大小不同、雜質含量較多，以及批量不一致等問題。為了獲得合適的原材料，首先要對原材料進行理化性能測試分析和工藝對比試驗。經過反復試驗，找出材料在主要成份和雜質控制方面的問題，以便對原材料供應商進行管理，并提出技術改造方案，促使材料廠家按照筆者公司技術要求進行改進。從而獲得在工藝上穩定、產品一致性好，且價格合理的原材料。

由于原材料生產工藝的原因，導致所購買的原材料或多或少都含有鐵磁性物質，因此，需要利用磁選機嚴格控制和檢驗粉料的含鐵量。

材料粒度組成從40目到400目不等，需要按配方要求進行配比。

等離子承燒板的主要原材料有白剛玉、莫來石、氧化鋁微粉、氧化釔穩定氧化鋯噴涂粉等，其化學組成如表1所示。

3 等離子噴涂承燒板的工藝流程

復合承燒板的生產工藝流程分為兩個階段：基板制備流程和涂層制備流程。主要生產設備有球磨機、振動磨、振動篩、磁選機、混砂機、高溫遂道爐、液壓機、等離子噴涂設備等。

3.1基板的制備

等離子噴涂承燒板的基板的工藝流程如圖1所示。

3.1.1配料及混料

首先，根據配方的組成及含量進行配料，并加入一定量的添加劑；然后，進行混料（混料采用半干法混料，混料設備為混砂機。混料的粘合劑有工業純聚乙烯醇、工業純甲基纖維素等。）；其次，控制攪拌時間，水份含量一般控制在1.5%~3.0%，并進行人工造粒和困料；最后，將獲得物料均勻、流動性好的陶瓷泥料，備用。

3.1.2成型

陶瓷成型有干壓法和熱壓鑄法、軋膜法等多種成型方法，本文主要采用干壓法成型制備復合承燒板，設備為四柱液壓機。干壓法成型對粉體的流動性、粒度分布以及密度的要求較高，并且泥料水分含量要低。

干壓成型技術是實現本產品產業化的關鍵技術之一，決定了陶瓷坯片質量和生產效率的高低能否滿足工業化生產的要求。因此，干壓成型技術中組合模具的設計和制造顯得尤為重要。經過不斷研究、試驗，發現固定式模架結構，只能提供單面加壓，且更換煩瑣，難以應付生產不同規格生產的需要。經試驗研究對比，發現采用浮動式模架結構后，更換容易，并可滿足多種規格生產的需要。同時，采用浮動式結構實現了雙面加壓。通過上述方法壓制獲得的產品，其精度和壓強都得到了提高，壓強由140MPa升到160MPa，精度從±0.25mm升到±0.15mm，使產品毛坯密度提升，減少了由于密度低、布料不均勻而引起的質量問題。

3.1.3生坯干燥

干燥的目的是為了減少生坯進爐排膠前的水分，降低產品開裂率。由于生坯本身水分含量比較低，本文采用自然干燥法干燥生坯，既節約能源，簡化工序，又達到了毛坯脫水干燥過程中基本平整不變形，且不損傷坯片表面質量，并可疊層燒成，疊層數量一次可以達到20～30片。

3.1.4燒成

陶瓷承燒板的燒成與其它陶瓷燒成不同。試驗發現，使用平式裝板工藝，產品容易開裂、變形。此外，燒成后基片出現表面麻點、凹凸、嚴重翹曲變形，以及開裂等質量問題與燒結工藝有關；而裝載數量、燒結溫度曲線直接影響了產品的變形率和性能。

通過研究，針對不同形狀或規格的產品，按要求制定出合理的裝板方式和數量，并改進裝板工藝，選用適合的裝匣，每片坯片之間撒敷一薄層高純剛玉隔離砂，可以防止燒結后基片粘結，優化高溫遂道窯燒成不同產品的溫度曲線和推板速度，保證了產品的質量，有效地解決了開裂、變形等問題，提高了產品的合格率及效益，降低了生產成本。

3.1.5基板檢驗

基板的檢驗主要是剔除有斑點、開裂、缺損、彎曲即變形等不良剛玉-莫來石基板。

3.2涂層的制備

涂層制備工藝流程如圖2所示。

3.2.1基板刻沙

由于剛玉-莫來石基板表面比較光滑，不利于噴涂時上粉。因此，需要通過噴砂摩刻獲得粗造的表面，擴大比表面積，提高涂層與基體表面的結合力。

3.2.2基板表面噴涂

基板表面噴涂需要先干燥預處理噴涂氧化鋯粉和噴砂后的剛玉-莫來石基板；然后將噴涂氧化鋯粉放進專用設備的送粉裝置里，工作時把氧化鋯粉送到噴槍噴嘴中；將剛玉-莫來石基板裝夾在噴涂專用工作臺上；啟動專用等離子噴涂設備，把氣體送到噴槍中，點燃噴槍產生等離子焰流，開始對剛玉-莫來石基板進行熔射噴涂；噴完其中一面后再噴涂另一面，每一面涂層厚度≥0.12mm。

4 產品的質量檢驗與評價

產品主要質量檢測儀器有TZ型陶瓷吸水率測試儀、SKZ數顯式抗折儀、GH材料荷重軟化測試儀、超高溫臥式膨脹儀、電子顯微鏡、X-射線熒光光譜儀、游標卡尺、螺旋測微計等。

等離子噴涂承燒板的化學組成及物理特性如表2所示。

除上述測試與檢驗外，還會到客戶處定期抽樣檢驗。由于其使用壽命因客戶的燒成制度不同會有較大的差別，一般情況下循環使用次數不少于60次。否則，將被視為不合格。

5 產品的市場化情況

等離子噴涂承燒板是可以制作成各種形狀，主要有方形平板、扇形平板、平板帶有支撐腳、在平板上面帶有條狀或網狀溝槽，或者重疊平板之間夾有墊塊等，主要用于承燒鎳電極片式多層陶瓷電容器。圖3為筆者公司生產的有支撐腳方形平板、扇形平板等離子噴涂承燒板外觀示意圖。

等離子噴涂承燒板研發成功后，經國內多家MLCC生產廠家試用，使用效果與進口承燒板接近。從2006年后，該產品被大批量投入市場，目前已逐漸替代了部分進口等離子噴涂承燒板，并已占有穩定的市場份額。

6 總結

（1） 以電熔剛玉、電熔莫來石和釔穩定氧化鋯噴涂粉等為主要原材料，經過混料、干法成型、燒成和等離子噴涂等工序，可以獲得以剛玉-莫來石為基體復合釔穩定氧化鋯為涂層的等離子噴涂承燒板。它具有優良的高溫強度、抗蠕變性、抗熱震性和較高的使用溫度(最高1600℃)，表面涂層化學穩定性好，不易與燒成產品發生反應，能在較高的溫度下反復使用60次以上不開裂。同時，可以根據客戶要求，制作成各種形狀，特別適宜做燒成陶瓷電子元器件的承燒材料。

（2） 該產品投放市場以來，能滿足國內用戶要求，并可以替代同類進口等離子噴涂承燒板。

（3） 隨著節能降耗、環保，以及資源節約等要求的提高，陶瓷電子元器件對承燒板有了更高、更新的技術要求，等離子噴涂承燒板將向大規格超薄長壽命的方向發展。但是，與國際同行先進產品在使用壽命方面相比較，還存在一定的差距。因此，還需要對等離子噴涂承燒板繼續深入跟蹤研究，以適應技術發展潮流，縮小差距。

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