氧化鋅薄膜的光學相干層析檢測方法研究

秦玉偉

（渭南師范學院物理與電氣工程學院，渭南714000）

氧化鋅薄膜的光學相干層析檢測方法研究

秦玉偉

（渭南師范學院物理與電氣工程學院，渭南714000）

為了實現對氧化鋅薄膜的厚度測量，采用光學相干層析成像的方法進行了理論分析和實驗驗證，獲得了含厚度信息的1維深度圖像和含內部結構信息的2維層析圖像。結果表明，該方法測得的薄膜厚度值與理論值一致。該研究說明譜域光學相干層析成像技術的測量結果真實有效，可以用于薄膜的厚度測量和質量檢測。

測量與計量；薄膜；檢測；光學相干層析成像

引 言

氧化鋅薄膜是一種應用廣泛的材料，具有優異的光電性能，主要用作太陽能電池的透明電極。氧化鋅作為玻璃窗的熱反射涂層，可以增加建筑物的能量利用率；也可用作紫外光阻擋層有害紫外線輻射。此外，氧化鋅薄膜具有良好的壓電性能，可以作為壓電薄膜，應用于壓電傳感器領域［1］。氧化鋅薄膜的厚度直接影響氧化鋅薄膜材料的性能。目前，薄膜厚度的測量方法有很多，但都存在諸多缺陷。光學測量方法具有高精度、無損傷的優勢，在薄膜的精密測量方面得到了廣泛應用。

光學相干層析成像（optical coherence tomography，OCT）是一種非接觸、非侵入、無損傷的高分辨率光學成像技術［2］。自1991年HUANG等人在Science發表了“Optical coherence tomography”一文以來，OCT技術得到了迅速發展，成功應用于眼科學的臨床診斷，并拓寬至珠寶以及其它材料檢測等諸多工業領域［2-7］。OCT利用低相干干涉儀，通過分析來自物體內部不同位置處的后向散射光，實現對物體結構圖像重構［1，4］。……