多晶硅還原爐冷卻水再利用技術

尹玉晶，周萬禮

（昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖 655011）

多晶硅還原爐冷卻水再利用技術

尹玉晶，周萬禮

（昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖 655011）

提出一種將多晶硅還原爐高溫冷卻水用于溴化鋰機組驅動熱源的余熱回收利用方案，能夠有效的將冷卻水余熱進行利用，可適當降低多晶硅生產成本。

高溫冷卻水；溴化鋰機組；多晶硅還原爐

在多晶硅生產過程中，主體設備還原爐反應溫度高于1000℃，這些熱能要通過空冷器、循環水等來進行冷卻。同時，在制冷、換熱等環節又要消耗大量的蒸汽，造成能耗的增加。將多晶硅還原爐高溫冷卻水用于溴化鋰機組制冷［1］，進行操作優化和有效管理，不失為一種能源互補利用、降低多晶硅生產能耗的有效方法。

1 系統介紹

1．1 還原爐高溫冷卻水

還原爐是多晶硅生產中的關鍵設備，運行時爐內溫度要控制在1050～1100℃之間，需要通過高溫冷卻水對爐筒及基盤進行降溫。還原爐的大小、規格、材料各異，所使用高溫冷卻水的溫度也有所不同。目前，溫度較高的還原爐冷卻水（進水溫度130℃，回水溫度150℃）多采用閃蒸制備低壓蒸汽，溫度較低的還原爐冷卻水（進水溫度80℃，回水溫度90℃）則多采用直接冷卻達到進水溫度［2］。還原爐循環冷卻水的溫度需要嚴格控制，其進水溫度過高或過低，都會影響多晶硅產品質量。

1.2 溴化鋰機組制冷系統

在多晶硅生產中，冷凍水廣泛應用于硅芯制備工序、各種通風系統冷源及取樣柜等，因此，溴化鋰機組也是多晶硅生產中的主要設備。……