雙光子微納加工技術結合化學鍍工藝制備三維金屬微彈簧結構

賈雁鵬，鄭美玲，董賢子，趙震聲，段宣明，2＊

（1．中國科學院 理化技術研究所，北京100190；2．中國科學院 重慶綠色智能技術研究院，重慶400714；3．中國科學院大學，北京100049）

金屬微納結構具有表面等離子體共振［1］等新穎的物理效應，在微納米技術的研究中占據重要的地位。它們在光學器件、納米電路、化學生物傳感器、醫療檢測診斷及生物成像等方面有巨大應用價值。目前常用的微納加工技術有光學曝光技術［2］、電子束曝光技術［3］、聚焦離子束曝光技術［4］以及納米壓印技術［5］等。然而這些方法多為平面微納結構制備技術，不適于制備復雜三維微納米結構和器件；另外，電子束曝光技術等加工方法還面臨著工藝復雜、設備昂貴等問題，不利于廣泛應用于大規模微納加工和制造。雙光子微納加工技術［6］利用材料對光的非線性吸收效應，能夠實現無掩膜、高分辨、真三維的微納加工，因而吸引了眾多研究人員的興趣。它能夠在聚合物［6］、金屬［7］、納米復合材料［8］等多種功能材料中制備高分辨的復雜三維結構。目前，這種技術已經成功應用在多個領域的微納米結構和器件的制備中，例如光波導［9］、三維超穎材料［10］、光子晶體［11］、微透鏡 陣 列［12］等 微 納 光學器件，微電感［13］、T 形柵［14］等微納電子學器件，以及種類眾多的微納流體器件［15－17］中。

利用雙光子微納加工技術直接加工金屬微納結構已有報道［18－20］，但這種制備金屬微納米結構的方法還存在著所加工的結構表面粗糙、任意三維結構成型困難等問題。……