新型可調諧外腔半導體激光器光頻掃描干涉測距方法

鄧忠文等

摘要：針對光頻調諧器件壓電陶瓷的形變滯后影響測量精度的問題，提出了一種采用局部二次曲線過渡的激光器驅動信號波形的修正方法。利用布里一帕羅干涉儀測得的光頻率掃描時間，建立了激光器掃頻驅動過程的傳遞函數模型，采用最小二乘峰值檢測法來識別干涉信號的波峰，通過建立的激光器掃頻驅動控制傳遞函數模型，對激光器光頻率非線性輸出進行了補償。實驗結果表明，激光器掃頻驅動信號波形修正方法可消除干涉信號轉折處的波形畸變，而相位測量、激光器輸出的補償方法可將測量系統的重復精度、定位精度提高近10倍。

關鍵詞：驅動信號；相位測量；非線性輸出