機(jī)床滾轉(zhuǎn)角測(cè)量中敏感元件傾斜引起的誤差分析
2013-04-29 00:44:03鐘麗紅等
西安交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2013年5期
關(guān)鍵詞：測(cè)量
鐘麗紅等
摘要：為研究正交偏振光相位法測(cè)量機(jī)床滾轉(zhuǎn)角過(guò)程中，機(jī)床的俯仰、偏擺運(yùn)動(dòng)誤差對(duì)測(cè)量精度的影響，建立了測(cè)量光路數(shù)學(xué)模型，利用瓊斯矩陣法計(jì)算光路中光的偏振態(tài)變換過(guò)程，并推導(dǎo)出被測(cè)滾轉(zhuǎn)角與相位變化量間的測(cè)量公式。在此基礎(chǔ)上，采用光的偏振和晶體光學(xué)理論，分析了測(cè)量過(guò)程中機(jī)床俯仰、偏擺運(yùn)動(dòng)誤差造成的敏感元件（即1/2波片）傾斜所引起的測(cè)量誤差。分析結(jié)果表明，1/2波片在傾斜角度小于2。的情況下所引起的測(cè)量誤差小于O.1%，對(duì)測(cè)量精度影響較小，從而論證了正交偏振光相位法高精度測(cè)量機(jī)床滾轉(zhuǎn)角的可行性。
關(guān)鍵詞：滾轉(zhuǎn)角；1/2波片；運(yùn)動(dòng)誤差；測(cè)量誤差
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