微波等離子體炬法合成金剛石薄膜的研究
2013-04-29 00:44:03黃芳亮
科技創(chuàng)新與應用 2013年7期
黃芳亮
摘要：現(xiàn)采用微波等離子體炬法合成了金剛石薄膜，并探討了微波功率變化對對金剛石膜質(zhì)量的影響。結(jié)果表明：隨著微波功率的增加，制備的金剛石薄膜結(jié)晶性越來越好；通過拉曼分析在微波功率800W，發(fā)現(xiàn)在1332cm-1處金剛石峰的相對強度最高，金剛石相純度最高。
關鍵詞：微波等離子體炬；金剛石薄膜；微波功率
