微波等離子體炬法合成金剛石薄膜的研究

黃芳亮

摘要：現采用微波等離子體炬法合成了金剛石薄膜，并探討了微波功率變化對對金剛石膜質量的影響。結果表明：隨著微波功率的增加，制備的金剛石薄膜結晶性越來越好；通過拉曼分析在微波功率800W，發現在1332cm-1處金剛石峰的相對強度最高，金剛石相純度最高。

關鍵詞：微波等離子體炬；金剛石薄膜；微波功率