等離子清洗技術(shù)在大面積磁控濺射玻璃鍍膜中的應(yīng)用
2012-04-12 00:00:00王樹立
消費(fèi)電子 2012年9期
摘要：在大面積磁控濺射玻璃鍍膜中，使用等離子清洗技術(shù)可以有效地清潔靶面和陽極表面，徹底解決使用平面磁控濺射陰極進(jìn)行反應(yīng)性濺射時(shí)的“靶中毒”和“陽極消失”兩個(gè)問題。
關(guān)鍵詞：等離子；玻璃鍍膜；清洗技術(shù)
中圖分類號(hào)：TB43 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1674-7712 (2012) 10-0229-01
