摘 要:國內(nèi)PIND試驗室對水溶膠的清除方法普遍存在諸多弊端,導致元件表面膠體殘留過多,給后續(xù)試驗帶來質(zhì)量隱患。在探討了多種在用的清洗方法后,提出了“噴淋-循環(huán)”一站式清洗方案,在滿足元器件的溫度、表面保護、靜電防護等要求的同時,清洗質(zhì)量和清洗效率也有了極大的提高,最終研制出新型水溶膠清洗機。試驗證明,新方法具有耗費低廉、使用方便、易于維護、可靠性高等顯著優(yōu)點,可極易推廣至相似需求的中、小型PIND試驗環(huán)境中。
關鍵詞:PIND試驗; 清洗方法; 元器件清洗; 水溶膠
中圖分類號:TN919-34 文獻標識碼:A 文章編號:1004-373X(2012)14-0175-03