淺析微細(xì)電火花加工機(jī)床加工誤差及提高精度的措施

摘要:微細(xì)加工技術(shù)在現(xiàn)代制造技術(shù)中占有極其重要的地位，而微細(xì)電火花加工技術(shù)是實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工的最有利手段之一。由于工具電極與工件電極之間的宏觀作用力微小，因此非常適合微小零部件的加工。機(jī)床在加工過(guò)程中其工藝系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生各種誤差，從而影響零件的加工精度。研究機(jī)床加工過(guò)程誤差的產(chǎn)生及防止對(duì)提高機(jī)床加工精度有著重要的意義。

關(guān)鍵詞:機(jī)床電火花誤差加工精度

中圖分類號(hào):TE933文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A文章編號(hào):1674-098X(2011)03(a)-0040-01

1 微細(xì)電火花加工技術(shù)簡(jiǎn)介

微細(xì)加工技術(shù)在現(xiàn)代制造技術(shù)中占有極其重要的地位，而微細(xì)電火花加工技術(shù)是實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工的最有利手段之一。由于工具電極與工件電極之間的宏觀作用力微小，因此非常適合微小零部件的加工。目前，微細(xì)電火花加工技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空、航天、醫(yī)學(xué)、模具、微電子器件等方面[1]。在微細(xì)電火花加工中，由于其加工對(duì)象的微小，因此要求放電間隙控制在1μm以內(nèi)。

1.1 微細(xì)電火花加工機(jī)床微進(jìn)給機(jī)構(gòu)

由于微細(xì)加工技術(shù)其加工對(duì)象的微小，因此要求放電間隙控制在1μm以內(nèi)。在這樣小的放電間隙里，為了防止拉弧和短路現(xiàn)象的發(fā)生，就要求機(jī)床的伺服控制系統(tǒng)具有很高的分辨率和高頻響應(yīng)能力。采用壓電元件和柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的壓電微進(jìn)給機(jī)構(gòu)因其位移控制精度高、響應(yīng)速度快、驅(qū)動(dòng)力較大等優(yōu)點(diǎn)，被應(yīng)用于微細(xì)電火花加工。而采用有限元法則可以從理論角度分析出機(jī)構(gòu)性能指標(biāo)和機(jī)構(gòu)主要尺寸的定量關(guān)系[2]。……