上海市集成電路產業技術創新服務平臺：提高創“芯”力，讓“散裝”變“精裝”

上海市集成電路產業技術創新服務平臺：提高創“芯”力，讓“散裝”變“精裝”

上海市集成電路產業技術創新平臺在推動企業發展，服務產業升級中取得了明顯成效。為上海華力生產線的建設提供技術支持；協助上海先進半導體公司建立特色工藝技術平臺，使其成為目前國內主要的汽車電子生產基地；與浙江大立公司合作開發非制冷式紅外MEMS芯片制造工藝技術，帶動企業及產業發展；為上海光刻機中心開發100nm光刻機（樣機）提供測試評價服務，協助其開發工藝、優化性能。與中微、盛美、光刻機中心、睿勵、安集等設備和材料廠商合作，承接國家中長期科技專項研發任務。其合作伙伴還包括AMAT、ASML、TEL等國際著名設備和材料廠商，以及Novellus、LAM、日新、尼康等未來合作者。

多種模式服務產業發展

在服務中，平臺充分發揮子平臺功能，保證統一運作，合理、有序且有效地開展各項服務。其工藝技術開發服務，還與大型集成電路制造企業開展長期研發合作，針對工藝技術組成研發聯盟，并與合作企業分攤成本。平臺采用委托、共同和輔助三種研發模式，為企業建立研發項目提供各種條件支持。平臺與中小型企業建立專業性項目合作關系，服務中小型制造企業技術升級；與國內外半導體設備和材料廠商建立資源互補的策略合作關系，為其提供進入大生產前的驗證和評價服務；將特約服務、常年服務、定制服務、協作服務、免費服務等五種服務模式相結合，在已有公共服務平臺基礎上，總結成果與經驗，調研市場，圍繞企業發展的共性需求，整合資源，在不以盈利為目的的基礎上，提供快速、優質的公共服務，滿足企業需求，增強上海地區設計企業的水平與競爭力。平臺還采用服務量化衡量指標，建立相應的評價體系，每年接受政府和服務企業的監督，以及服務量與滿意度的評估。

平臺不僅為集成電路制造企業提供了先進工藝研發和驗證的服務平臺，使企業不影響正常生產即可進行前期技術研發、小批流片，降低研發成本和風險，也為國內設計企業產品開發提供了特色工藝模塊，使國內生產線更好地服務于設計公司，進一步增強設計公司的產品開發能力。同時也在技術升級和新技術合作開發上提供幫助，為國內集成電路制造企業知識產權支撐，使其獲得持續的技術來源和相關的專利保護。為該產業的可持續發展發揮了重要作用，使行業內的研發機構、院校、企業發揮合力，共同推進產業升級。

產學研用助推產業升級

針對我國集成電路產業發展中存在的研發成本過高、技術創新能力不強、專利積累過少、國內芯片設計業和制造聯動困難、設備和材料研發難以進入大生產等系列瓶頸問題，平臺將對國家級集成電路研發中心“8+12”英寸中試線進行完善和升級，形成每月提供各種短流程和全流程8’研發片和12’研發片的能力，為國內外集成電路制造和設計企業、大學和科研機構提供45-32nm先進工藝技術研發的公共平臺和知識產權專利共享機制；并且提供非標準CMOS特色工藝技術的研發和產業化環境，加快傳感器、智能電力、汽車電子以及生物芯片等產品的開發速度，提升產品開發能力；同時加強IP核庫和產品設計公共服務平臺，增強國內生產線接受國內設計產品流片的能力；和大型生產線聯合建成12’國產設備示范工程，加快國產設備和材料驗證優化后進入大生產線試用。

通過自身的運作，平臺希望實現產學研用相結合，以支撐產業發展為目標、面向上海乃至全國集成電路制造、設計、材料、設備、封裝、測試等產業鏈內所有大中小型企業開展服務，通過有效整合大學、科研院所、科技中介服務機構及骨干企業等優勢單位資源，面向企業技術創新共性需求提供公共服務；也將充分發揮研發中心及相關聯合單位在國家半導體創新體系中的核心地位，加強研發中心產學研合作平臺的功能，建立一個針對集成電路關鍵裝備及成套工藝技術的公共服務平臺，以及一種合作開發共性技術的典范，為國內集成電路工藝技術的持續發展產生良性循環作用。