國產65nm大角度離子注入機進入晶圓生產線

由北京中科信電子裝備有限公司自主研發的300mm/65nm大角度離子注入機進入中芯國際 (北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產線的技術測試與器件工藝檢驗，為這一國產集成電路制造裝備實現重大技術跨越作最后的沖刺。

據了解，這是國產高端離子注入機首次進入300mm主流生產線，表明國內的離子注入機研制已經逐步達到世界主流技術水平。

北京中科信公司研制的65 nm大角度離子注入機以滿足大規模生產線65nm制程工藝需求為目標，以提升產品工藝性能、整機可靠性及降低成本消耗為設計理念。在不到兩年的時間里，北京中科信電子裝備有限公司研發團隊成功突破了多項關鍵工藝，完成多項核心研究，實現了設備的工程化制造、關鍵零部件國產化，完善了系統設計、系統加工、系統集成流程，保證了設備的高可靠性及工藝水平。

長時間的系統性能測試結果表明，整機生產率、控制精度、軟件可靠性、整機自動性能、工藝一致性等指標都有了顯著提高，整機性能完全達到甚至部分已經超過了項目合同要求，同時適應國際300mm工藝生產線標準要求。

該設備具備先進工藝控制及故障診斷功能，出廠前已通過用戶基本技術指標評估與硬件改進，其主要工藝性能及可靠性、穩定性已取得令人滿意的效果。

(來源:中國電子報)