姜歌東 陶 濤 梅雪松 袁淵浩
精密工作臺被廣泛地應用于光刻機、掃描顯微鏡、微操作機械手等高精密設備中,是保證高精密設備運動精度的關鍵部件,如何實現精密工作臺的多自由度運動和定位精度測量,是長期以來人們一直關心的問題,目前,常用的測量方法是激光法。
西安交通大學學報2009年5期
1《師道·教研》2024年10期
2《思維與智慧·上半月》2024年11期
3《現代工業經濟和信息化》2024年2期
4《微型小說月報》2024年10期
5《工業微生物》2024年1期
6《雪蓮》2024年9期
7《世界博覽》2024年21期
8《中小企業管理與科技》2024年6期
9《現代食品》2024年4期
10《衛生職業教育》2024年10期
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