一種基于Ｒａｄｏｎ變換的精密工作臺微位移和轉動測量方法

姜歌東　陶　濤　梅雪松　袁淵浩

精密工作臺被廣泛地應用于光刻機、掃描顯微鏡、微操作機械手等高精密設備中，是保證高精密設備運動精度的關鍵部件，如何實現精密工作臺的多自由度運動和定位精度測量，是長期以來人們一直關心的問題，目前，常用的測量方法是激光法。