ＭＥＭＳ的增長點在哪里

崔　澎

從時尚的消費電子產品，像蘋果的iPhone、任天堂的Wii，到下一代醫療設備、汽車導航、工業系統。MEMS將極大地豐富人和電子設備互動的方式。“對于半導體公司。要么選擇MEMS，要么退出市場!”Maxim集團總裁Vijay Ullal在2009年舊金山的電子峰會上語出驚人，“因為，從200年前的工業革命邁出第一步開始，現代科技的演進就一直沒停止。第二步是晶體管發明帶來的計算革命，第三步就是傳感器。”

事實上看好MEMS市場前景的大有人在，但是如何才能找到正確的增長點?Kionix市場銷售副總裁Eric Eisenhut認為是慣性傳感技術。慣性傳感器把真實世界的復雜運動簡化成簡單的數字信號輸入到控制器中。所以，Eric指出在汽車電子、消費電子、工業和醫療領域中，慣性傳感器將無所不在。

自2012年式開始，美國和歐盟要求銷售的乘用車必須配備電子車身穩定系統(ESC。Electronic Stability Control)。根據美國官方預估，ESC強制列為標配后。所避免的車輛撞擊意外單在美國每年就將拯救近一萬人的性命。這一強制措施必將增加汽車市場對加速計和陀螺儀的需求量。另外。諸如汽車氣囊、智能頭燈都會產生很大的MEMS傳感器需求。

在消費電子市場，所謂的消費體驗將很大程度上取決于傳感器技術。筆記本、游戲控制器、數碼相機、便攜攝像機、MP3播放器、PND、健身器材、玩具等，所有和運動輸入相關的產品都將會受到歡迎。

就在電子峰會的當天，Kionix向市場推出了最新的KXTF9三軸加速器。整合了Kionix公司單叩擊/雙叩擊(directional Tap/Double-Tap)接口，通過嵌入在KXTF9傳感器的ASIC內的算法來實現。該特性最多可以創建12種獨特的輕叩命令來實現專用功能。單叩擊/雙叩擊通過檢測物體6個面(±X、±Y和±z)的任何一個面上是發生了單擊，還是雙擊來實現響應功能(圖1)。該算法使得加速器能夠辨別單/雙擊和叩擊發生在哪里。除了12C接口以外，KCTF9的特性還包括用戶可編程輸出數據速度、按用戶定義采樣速率執行的A/D轉換、可選8位或12位分辨率、用戶可選加速度范圍(2g、4g和8g)和截止頻率用戶可選的數字高通濾波器。

其實，目前手機等便攜產品上最亮眼的MEMS應用是微型投影機。Microvision市場銷售副總裁Ian Brown在峰會上演示了名為SHOW的微型(7×20×40 mm)投影產品，可以投影出對角線12英寸至100英寸的畫面，畫面的分辨率達到WVGA(848×480)，支持200％的NTSC色彩。讓Ian頗為自豪的是，和TI的DLP或者LCoS相比，PicoP顯示引擎的動態范圍更高，達到10000：1。Microvision把其中的核心技術稱為PicoP顯示引擎，其中最關鍵的器件就是雙向MEMS掃描鏡，它聯接到兩個小的彎曲(nexure)，通過縱向和水平震蕩進行逐個像素的捕捉(成像)或者復制(顯示)圖像(圖2)。