ＺｎＯ薄膜聲表面波型ＳＦ₆氣體傳感器的研究

摘要：提出了一種基于ZnO薄膜的聲表面波型SF₆氣體傳感器。將利用微乳液法制備的znO顆粒制作在聲表面波器件上，形成了一種對(duì)SF₆氣體具有物理吸附和脫吸附作用的ZnO薄膜。應(yīng)用小波函數(shù)加權(quán)的輸入換能器和具有抑制體聲波作用的多條耦合器到聲表面波器件中，傳感器的頻率響應(yīng)特性得到了提高。聲表面波器件的雙聲路結(jié)構(gòu)消除了因外界測(cè)量條件改變引起的測(cè)量誤差，進(jìn)一步提高了傳感器的可靠性和準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，基于ZnO薄膜的聲表面波型SF₆氣體傳感器具有較好的重復(fù)性和較強(qiáng)的連續(xù)測(cè)量特性，在測(cè)量范圍內(nèi)對(duì)各種濃度的SF6氣體具有好的響應(yīng)特性，傳感器在φ(SF₆)為0.5×10^-6到20×10^-6范圍內(nèi)的線性靈敏度大約為7.3kHz/10^-6，但對(duì)CO₂、N₂具有一定的交叉靈敏度。

關(guān)鍵詞：ZnO薄膜；聲表面波器件；SF₆氣體；氣體傳感器

中圖分類號(hào)：TN65;TP212 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號(hào)：0253—987X(2008)04—0445—05