單電容式及差分電容式ＨＥＨＳ傳感器檢測系統

摘要：傳感器技術是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2^-18。

關鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調理；檢測電路

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