MOEMS傾斜下電極光開關的空氣壓膜阻尼效應
2005-04-29 00:00:00孫東明董瑋郭文濱劉彩霞王國東徐寶琨陳維友
吉林大學學報(理學版) 2005年3期
摘要：從基于微機械光電系統(MOEMS)的傾斜下電極扭臂式光開關出發，求解雷諾方程，得到空氣壓膜阻尼系數和阻尼力矩的分析公式．通過求解動力學方程，給出空氣壓膜阻尼效應對于光開關響應時間的影響．
關鍵詞：空氣壓膜阻尼效應；微機械光電系統；雷諾方程；傾斜下電極；響應時間
中圖分類號：TN256；TN205
文獻標識碼：A
文章編號：1671-5489(2005)03-0343-05
