高精度步進壓印機熱誤差的建模分析
2005-04-29 17:56:08嚴樂盧秉恒丁玉成劉紅忠
西安交通大學(xué)學(xué)報 2005年5期
嚴 樂 盧秉恒 丁玉成 劉紅忠
摘要：為了消除由紫外光曝光所引起的步進壓印機的熱誤差，以提高壓印機的套刻對準精度，運用逐步回歸分析法選取了壓印機上溫度測量點的數(shù)量，將壓印機上布置的溫度傳感器從15個減少到6個，并建立了壓印機溫度測量關(guān)鍵點處的溫度與壓頭在x、z方向熱誤差關(guān)系的數(shù)學(xué)模型．實驗結(jié)果與模型計算結(jié)果的對比分析表明，模型的熱誤差預(yù)測精度在x方向可以達到89％，而在z方向可以達到93％．應(yīng)用表明，該方法是一種在壓印機熱誤差建模中選擇溫度測量關(guān)鍵點的有效方法，可避免熱誤差建模過程中的變量耦合問題，從而提高了模型的精確性．
關(guān)鍵詞：壓印光刻；步進壓印機；熱誤差；溫度場；建模
中圖分類號：TN305文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2005)05-0526—05
