微構件彈性模量懸臂梁法測量的模糊建模及分析
2005-04-29 17:56:08朱強蔣莊德王海容趙則祥
西安交通大學學報 2005年5期
朱 強 蔣莊德 王海容 趙則祥
摘要：在介紹懸臂梁法測量微構件彈性模量原理的基礎上，分析了測量和評價過程的主要不確定因素，將模糊數學方法引入彈性模量的評價過程．在常規模型中，給予有關參數一定的變動范圍，以隸屬函數表示其取值分布情況，建立了基于模糊集的評價模型．其中，懸臂梁試件的剛度系數由載荷—有效撓度曲線經模糊加權線性回歸擬合獲得，其幾何尺寸考慮為正態分布模糊數，利用水平截集概念轉化為普通集規劃問題求解．對單晶硅(100)懸臂梁試件的實驗數據進行了計算，得到不同置信水平下的彈性模量評價區間．研究結果表明，帶有模糊參數的彈性模量評價模型能適當吸收一些不確定因素，同時由于考慮了測量中多種因素的影響，評價結果與實際情況符合較好，因此更具有參考價值．
關鍵詞：懸臂梁法；微構件；彈性模量；模糊模型；隸屬函數
中圖分類號：TG115．5文獻標識碼：A文章編號：0253-987X(2005)05—0517—05
